|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
177795 |
| 005 |
20231101223348.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\192769
|
| 090 |
|
|
|a 177795
|
| 100 |
|
|
|a 20100325d2007 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
|e лабораторный практикум
|f Г. Д. Кузнецов [и др.]
|g Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Учеба
|d 2007
|
| 215 |
|
|
|a 141 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 140.
|
| 330 |
|
|
|a Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 610 |
1 |
|
|a микроразмерные пленочные гетерокомпозиции
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные пленочные гетерокомпозиции
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная эмиссия
|
| 610 |
1 |
|
|a электроискровое нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимическое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a лабораторные работы
|
| 610 |
1 |
|
|a лабораторные практикумы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(076.5)
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Г. Д.
|g Геннадий Дмитриевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Курочка
|b С. П.
|g Сергей Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кушхов
|b А. Р.
|g Аскер Русланович
|
| 701 |
|
1 |
|a Демченкова
|b Д. Н.
|g Дарья Николаевна
|
| 701 |
|
1 |
|a Курочка
|b А. С.
|g Александр Сергеевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\180
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100325
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130603
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 22/20100324
|d 1
|e 280,00
|f ЧЗТЛ:1
|
