Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций, курс лекций

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Autor corporatiu:	Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
Altres autors:	Симакин С. Б. Сергей Борисович, Демченкова Д. Н. Дарья Николаевна
Sumari:	В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Изд-во МИСиС, 2008
Matèries:	Тонкопленочная технология наноразмерные гетероструктуры полупроводниковые наноструктуры молекулярно-пучковая технология сверхрешетки синтез пленочные материалы химические соединения пленочные гетерокомпозиции травление микротехнологии нанотехнологии наносистемы полупроводниковые лазеры микросистемная техника мембраны сенсорные устройства лекции учебные пособия
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177792