|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
177792 |
| 005 |
20231101223348.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\192766
|
| 090 |
|
|
|a 177792
|
| 100 |
|
|
|a 20100325d2008 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
|e курс лекций
|f Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова
|g Московский институт стали и сплавов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИСиС
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 191 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 190.
|
| 330 |
|
|
|a В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\60919
|9 78140
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные гетероструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярно-пучковая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхрешетки
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a химические соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные гетерокомпозиции
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a микротехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a наносистемы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые лазеры
|
| 610 |
1 |
|
|a микросистемная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a мембраны
|
| 610 |
1 |
|
|a сенсорные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a лекции
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Г. Д.
|g Геннадий Дмитриевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Симакин
|b С. Б.
|g Сергей Борисович
|
| 701 |
|
1 |
|a Демченкова
|b Д. Н.
|g Дарья Николаевна
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\180
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100325
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130610
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 22/20100324
|d 1
|e 617,00
|f ЧЗТЛ:1
|
