Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67

Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Altri autori:	Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна (руководитель), Титова Э. В. (исполнитель)
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Томск, 1970
Soggetti:	двуокись кремния пленки свойства электронно-плазменный метод диэлектрики технологии подложки состав газов отчеты о НИР
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177360

Documenti analoghi