Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Altres autors:	Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна (руководитель), Титова Э. В. (исполнитель)
Idioma:	rus
Publicat:	Томск, 1970
Matèries:	двуокись кремния пленки свойства электронно-плазменный метод диэлектрики технологии подложки состав газов отчеты о НИР
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177360

Ítems similars