|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
177360 |
| 005 |
20231031165619.0 |
| 029 |
0 |
0 |
|a SU
|b 70055806
|f ТПУ
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\192272
|
| 090 |
|
|
|a 177360
|
| 100 |
|
|
|a 20100316d1970 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a p 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом
|e Отчет о НИР
|e Тема : № х/д № 113/67
|f Томский политехнический институт (ТПИ) ; руководитель Е. К. Завадовская , Э. В. Титова
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1970
|
| 215 |
|
|
|a 68 л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 66-68.
|
| 610 |
1 |
|
|a двуокись кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-плазменный метод
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a состав газов
|
| 610 |
1 |
|
|a отчеты о НИР
|
| 675 |
|
|
|a 539.216(04)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Завадовская
|b Е. К.
|c российский физик
|c профессор кафедры физики твердого тела Томского политехнического института
|f 1913-2004
|g Екатерина Константиновна
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19787
|4 673
|
| 702 |
|
1 |
|a Титова
|b Э. В.
|4 677
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический институт (ТПИ)
|c (1944-1991)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1123
|4 595
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100316
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210226
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
