Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом, Отчет о НИР

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Otros Autores:	Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна (673), Титова Э. В. (677)
Publicado:	Томск, 1970
Materias:	двуокись кремния пленки свойства электронно-плазменный метод диэлектрики технологии подложки состав газов отчеты о НИР
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177360

Descripción
Descripción Física:	68 л.

Ejemplares similares