Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом, Отчет о НИР Тема : № х/д № 113/67

Bibliografske podrobnosti
Korporativna značnica:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
Drugi avtorji:	Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна (673), Титова Э. В. (677)
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 1970
Teme:	двуокись кремния пленки свойства электронно-плазменный метод диэлектрики технологии подложки состав газов отчеты о НИР
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177360

Opis
Fizični opis:	68 л.

Podobne knjige/članki