Свойства пленок двуокиси кремния, полученных электронно - плазменным методом: Отчет о НИР; Тема : № х/д № 113/67

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلف مشترك:	Томский политехнический институт (ТПИ) (595)
مؤلفون آخرون:	Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна (руководитель), Титова Э. В. (исполнитель)
اللغة:	الروسية
منشور في:	Томск, 1970
الموضوعات:	двуокись кремния пленки свойства электронно-плазменный метод диэлектрики технологии подложки состав газов отчеты о НИР
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=177360

الوصف
وصف مادي:	68 л.

مواد مشابهة