Берлин Е. В. Евгений Владимирович & Сейдман Л. А. Лев Александрович. (2010). Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010.
Style de citation Chicago (17e éd.)Берлин Е. В. Евгений Владимирович et Сейдман Л. А. Лев Александрович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010, 2010.
Style de citation MLA (9e éd.)Берлин Е. В. Евгений Владимирович et Сейдман Л. А. Лев Александрович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010, 2010.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.