Берлин Е. В. Евгений Владимирович & Сейдман Л. А. Лев Александрович. (2010). Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010.
Chicago Style (17th ed.) CitationБерлин Е. В. Евгений Владимирович and Сейдман Л. А. Лев Александрович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010, 2010.
MLA (9th ed.) CitationБерлин Е. В. Евгений Владимирович and Сейдман Л. А. Лев Александрович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии. Москва, Техносфера, 2010, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.