LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении

LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении

Détails bibliographiques
Parent link:	Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении.— 2009.— С. 319-320
Auteur principal:	Родионова Е. А.
Autres auteurs:	Яковенко Е. О. (научный руководитель)
Langue:	russe
Publié:	2009
Sujets:	микроэлектроника рентгенолитография рентгеновская литография микроактюаторы микронанофлюидные устройства LIGA-технологии труды учёных ТПУ
Format:	Chapitre de livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=175215

Documents similaires

Проблемы литографии в микроэлектронике
Publié: (Москва, Наука, 1987)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Publié: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Liga method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio; Resource-Efficient Technologies; No 2
Publié: (2018)

Т.: В. Тезисы докладов; I Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники
Publié: (1989)

Микроэлектроника: научный журнал
Publié: (Москва, Наука, 1973-)

Физика субмикронной литографии
par: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publié: (Москва, Наука, 1990)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Publié: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Publié: (1990)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
par: Сергеев В. А.
Publié: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
par: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publié: (Москва, Академия, 2008)

Диагностика микроэлектронных структур
Publié: (Москва, Наука, 1993)

Т. 3; Справочник Шпрингера по нанотехнологиям
Publié: (2010)

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: пер. с англ.
Publié: (Москва, Радио и связь, 1984)

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
par: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1985)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
par: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publié: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
par: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publié: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
par: Круглов А. В.
Publié: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)

Модификация поверхности - путь к магнитной памяти; Природа; № 2
Publié: (2002)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
par: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Publié: (Минск, Наука и техника, 1983)

Проблемы микроэлектронной технологии
Publié: (Москва, Наука, 1992)

Инновационные решения в компьютерной технике; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
par: Петухова В. С.
Publié: (2018)

Теоретическое и экспериментальные исследования течения жидкостей в микрофлюидных устройствах
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)

Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
par: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Publié: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)

Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
par: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Publié: (Москва, Металлургия, 1980)

Модульное устройство для технологии умного провода в задачах мониторинга воздушных линий электропередачи; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 2
par: Горячев М. П.
Publié: (2017)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
par: Архипов А. В.
Publié: (Самара, Самарский университет, 2022)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Publié: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях
par: Вавилов В. Д. Владимир Дмитриевич
Publié: (Москва, Техносфера, 2018)

Микроструктурирование тонких пленок
Publié: (Москва, Наука, 1991)

Полупроводниковые термоэлектрические энергоэффективные устройства
par: Исмаилов Т. А.
Publié: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)

Интернет всегда рядом. Использование мобильных устройств; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
par: Дащенко Е. Л.
Publié: (2018)

Рентгеновская оптика: сборник статей
Publié: (Москва, Наука, 1989)

Vapor Annealing and Colloid Lithography: An Effective Tool To Control Spatial Resolution of Surface Modification; Langmuir; Vol. 34 (11)
Publié: (2018)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
par: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1992)

Рентгеновские лучи: пер. с нем. и англ.
Publié: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1960)

Микроэлектроника и схемотехника учебник
par: Параскевов А. В.
Publié: (Краснодар, КубГАУ, 2019)

Электронная техника. Сер. 10 : Микроэлектронные устройства: научно-технический сборник
Publié: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1979-1982, 1992)