LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
| Parent link: | Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении.— 2009.— С. 319-320 |
|---|---|
| Auteur principal: | Родионова Е. А. |
| Autres auteurs: | Яковенко Е. О. (научный руководитель) |
| Langue: | russe |
| Publié: |
2009
|
| Sujets: | |
| Format: | Chapitre de livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=175215 |
Documents similaires
Проблемы литографии в микроэлектронике
Publié: (Москва, Наука, 1987)
Publié: (Москва, Наука, 1987)
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Publié: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)
Publié: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)
Liga method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio; Resource-Efficient Technologies; No 2
Publié: (2018)
Publié: (2018)
Т.: В. Тезисы докладов; I Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники
Publié: (1989)
Publié: (1989)
Микроэлектроника: научный журнал
Publié: (Москва, Наука, 1973-)
Publié: (Москва, Наука, 1973-)
Физика субмикронной литографии
par: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publié: (Москва, Наука, 1990)
par: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Publié: (Москва, Наука, 1990)
Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Publié: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Publié: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)
Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Publié: (1990)
Publié: (1990)
Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
par: Сергеев В. А.
Publié: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)
par: Сергеев В. А.
Publié: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)
Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
par: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publié: (Москва, Академия, 2008)
par: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Publié: (Москва, Академия, 2008)
Диагностика микроэлектронных структур
Publié: (Москва, Наука, 1993)
Publié: (Москва, Наука, 1993)
Т. 3; Справочник Шпрингера по нанотехнологиям
Publié: (2010)
Publié: (2010)
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: пер. с англ.
Publié: (Москва, Радио и связь, 1984)
Publié: (Москва, Радио и связь, 1984)
Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
par: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1985)
par: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1985)
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
par: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publié: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)
par: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publié: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)
Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
par: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publié: (Томск, TPU Moodle, 2014)
par: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publié: (Томск, TPU Moodle, 2014)
Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
par: Круглов А. В.
Publié: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)
par: Круглов А. В.
Publié: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)
Модификация поверхности - путь к магнитной памяти; Природа; № 2
Publié: (2002)
Publié: (2002)
Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
par: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Publié: (Минск, Наука и техника, 1983)
par: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Publié: (Минск, Наука и техника, 1983)
Проблемы микроэлектронной технологии
Publié: (Москва, Наука, 1992)
Publié: (Москва, Наука, 1992)
Инновационные решения в компьютерной технике; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
par: Петухова В. С.
Publié: (2018)
par: Петухова В. С.
Publié: (2018)
Теоретическое и экспериментальные исследования течения жидкостей в микрофлюидных устройствах
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)
par: Юрчук С. Ю.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)
Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
par: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Publié: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)
par: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
Publié: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)
Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
par: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Publié: (Москва, Металлургия, 1980)
par: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
Publié: (Москва, Металлургия, 1980)
Модульное устройство для технологии умного провода в задачах мониторинга воздушных линий электропередачи; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 2
par: Горячев М. П.
Publié: (2017)
par: Горячев М. П.
Publié: (2017)
Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
par: Архипов А. В.
Publié: (Самара, Самарский университет, 2022)
par: Архипов А. В.
Publié: (Самара, Самарский университет, 2022)
Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
par: Букатин А. С.
Publié: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Publié: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)
Publié: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)
Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях
par: Вавилов В. Д. Владимир Дмитриевич
Publié: (Москва, Техносфера, 2018)
par: Вавилов В. Д. Владимир Дмитриевич
Publié: (Москва, Техносфера, 2018)
Микроструктурирование тонких пленок
Publié: (Москва, Наука, 1991)
Publié: (Москва, Наука, 1991)
Полупроводниковые термоэлектрические энергоэффективные устройства
par: Исмаилов Т. А.
Publié: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)
par: Исмаилов Т. А.
Publié: (Санкт-Петербург, Лань, 2021)
Интернет всегда рядом. Использование мобильных устройств; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
par: Дащенко Е. Л.
Publié: (2018)
par: Дащенко Е. Л.
Publié: (2018)
Рентгеновская оптика: сборник статей
Publié: (Москва, Наука, 1989)
Publié: (Москва, Наука, 1989)
Vapor Annealing and Colloid Lithography: An Effective Tool To Control Spatial Resolution of Surface Modification; Langmuir; Vol. 34 (11)
Publié: (2018)
Publié: (2018)
Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
par: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1992)
par: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1992)
Рентгеновские лучи: пер. с нем. и англ.
Publié: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1960)
Publié: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1960)
Микроэлектроника и схемотехника учебник
par: Параскевов А. В.
Publié: (Краснодар, КубГАУ, 2019)
par: Параскевов А. В.
Publié: (Краснодар, КубГАУ, 2019)
Электронная техника. Сер. 10 : Микроэлектронные устройства: научно-технический сборник
Publié: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1979-1982, 1992)
Publié: (Москва, ЦНИИ Электроника, 1979-1982, 1992)
Documents similaires
-
Проблемы литографии в микроэлектронике
Publié: (Москва, Наука, 1987) -
Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Publié: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008) -
Liga method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio; Resource-Efficient Technologies; No 2
Publié: (2018) -
Т.: В. Тезисы докладов; I Всесоюзная конференция по физическим основам твердотельной электроники
Publié: (1989) -
Микроэлектроника: научный журнал
Publié: (Москва, Наука, 1973-)