|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
175215 |
| 005 |
20231031165022.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\189982
|
| 090 |
|
|
|a 175215
|
| 100 |
|
|
|a 20100210d2009 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a LIGA-технология
|f Е. А. Родионова
|g науч. рук. Е. О. Яковенко
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 2 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\182778
|t Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
|o труды XIII региональной научно-практической конференции студентов и учащейся молодежи , 9-10 апреля 2009 г., Юрга
|f Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (ЮТИ) ; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении ; отв. за вып. Д. А. Чинахов
|v С. 319-320
|d 2009
|p 357 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгенолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновская литография
|
| 610 |
1 |
|
|a микроактюаторы
|
| 610 |
1 |
|
|a микронанофлюидные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a LIGA-технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Родионова
|b Е. А.
|
| 702 |
|
1 |
|a Яковенко
|b Е. О.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100210
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
