Thin Films and Multilayers for Electronics study aid

Thin Films and Multilayers for Electronics, Study aid

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Tomsk Polytechnic University (TPU)
Outros autores:	Panin A. V. Alexey Viktorovich (220)
Summary:	Title screen. This teaching aid is dealt with physic-chemical interaction between thin metal, dielectric and semiconductor films and multilayer structures. Discussed are the problems of advanced microelectronics, main properties of thin integral diagram film-technology, laws of thin film growth, filming technique and research, degradation of multilayer thin-film structures under various internal influences. The teaching aid was designed at the Department of Material Science in Mechanical Engineering of the Faculty of Mechanical Engineering, TPU and is intended for students who entered the master's degree program Computer Simulation for Mate-rial Techniques and Processing Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Idioma:	inglés
Publicado:	Tomsk, TPU Publishing House, 2009
Subjects:	Пленки тонкие > Получение thin films Multilayers electronics труды учёных ТПУ электронный ресурс английский язык тонкие пленки электроника многослойные материалы микропленка технологии получение исследование деградация барьеры Шоттки
Acceso en liña:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2009/m166.pdf
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=172856

Títulos similares

Thin Films and Multilayers for Electronics study aid
Publicado: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Hybrid biocomposite with a tunable antibacterial activity and bioactivity based on RF magnetron sputter deposited coating and silver nanoparticles
Publicado: (2015)

Natural Oxidation of Ultra-Thin Copper Films
Publicado: (2018)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
por: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Publicado: (Томск, 2024)

Физика и технология полупроводниковых пленок
por: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Publicado: (Львов, Вища школа, 1988)

Fabrication, ultra-structure characterization and in vitro studies of RF magnetron sputter deposited nano-hydroxyapatite thin films for biomedical applications
Publicado: (2014)

Piezoactive dense diphenylalanine thin films via solid-phase crystallization
Publicado: (2022)

Cu-Ir thin film alloy as a potential substrate for the heteroepitaxial diamond growth
Publicado: (2022)

Modulation instability of two TE modes in a thin left-handed film on a nonlinear right-handed substrate
Publicado: (2021)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
por: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
por: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Publicado: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Thermionic Vacuum Arc-A Versatile Technology for Thin Film Deposition and Its Applications
Publicado: (2020)

Plasma diagnostics and characterization of the Mg and Mg–Zn thin films deposited by thermionic vacuum arc (TVA) method
Publicado: (2019)

Polylactic Acid Thin Films Properties after Steam Sterilization
Publicado: (2020)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
por: Шафизаде Р. Б.
Publicado: (Баку, Элм, 1983)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2018)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation
por: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicado: (2015)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering
Publicado: (2022)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicado: (Томск, 2018)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions
Publicado: (2018)

Calcium phosphate coating deposition by radio frequency magnetron sputtering in the various inert gases: The pilot study
Publicado: (2019)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2018)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура учебное пособие
por: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publicado: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Thin-Film Deposition Principles and Practice
por: Smith D. L. Donald L.
Publicado: (Boston, McGraw Hill, 1995)

Theoretical and Experimental Research of Hydrogen Solid Solution in Mg and Mg-Al System
Publicado: (2022)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
por: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Publicado: (Томск, 1998)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Сунь Чжилэй
Publicado: (Томск, 2020)

Surface Doping of Steel with an Intense Pulsed Electron Beam
Publicado: (2018)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.07
por: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Publicado: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1982)

Thermal stability of a-C:H:SiOx thin films in hydrogen atmosphere
Publicado: (2019)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
por: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 1998)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05299
por: Данилина Т. И.
Publicado: (Томск, 1970)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 05.17.11
por: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Publicado: (Томск, 2011)

Synthesis, Transfer, and Gas Separation Characteristics of MOF-Templated Polymer Membranes
Publicado: (2019)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
por: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Publicado: (Томск, 2023)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
por: Белевский В. П. Владимир Петрович
Publicado: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Рост пленок учебное пособие
por: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Publicado: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Effect of Low-Temperature Plasma Treatment and gamma Irradiation on the Surface Properties of Thin Films Based on Polylactic Acid
Publicado: (2021)

Spin Coating Immobilisation of C-N-TiO2 Co-Doped Nano Catalyst on Glass and Application for Photocatalysis or as Electron Transporting Layer for Perovskite Solar Cells
Publicado: (2020)