Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid

Bibliografiske detaljer
Institution som forfatter:	Томский политехнический университет
Andre forfattere:	Panin A. V. Alexey Viktorovich (составитель)
Summary:	Title screen. This teaching aid is dealt with physic-chemical interaction between thin metal, dielectric and semiconductor films and multilayer structures. Discussed are the problems of advanced microelectronics, main properties of thin integral diagram film-technology, laws of thin film growth, filming technique and research, degradation of multilayer thin-film structures under various internal influences. The teaching aid was designed at the Department of Material Science in Mechanical Engineering of the Faculty of Mechanical Engineering, TPU and is intended for students who entered the master's degree program Computer Simulation for Mate-rial Techniques and Processing Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprog:	engelsk
Udgivet:	Tomsk, TPU Publishing House, 2009
Fag:	Пленки тонкие > Получение thin films Multilayers electronics труды учёных ТПУ электронный ресурс английский язык тонкие пленки электроника многослойные материалы микропленка технологии получение исследование деградация барьеры Шоттки
Online adgang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2009/m166.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=172856

Lignende værker

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Udgivet: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: учебное пособие
af: Панин А. В. Алексей Викторович
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)

Hybrid biocomposite with a tunable antibacterial activity and bioactivity based on RF magnetron sputter deposited coating and silver nanoparticles; Applied Surface Science; Vol. 329
Udgivet: (2015)

Физика и технология полупроводниковых пленок
af: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Udgivet: (Львов, Вища школа, 1988)

Fabrication, ultra-structure characterization and in vitro studies of RF magnetron sputter deposited nano-hydroxyapatite thin films for biomedical applications; Applied Surface Science; Vol. 317
Udgivet: (2014)

Cu-Ir thin film alloy as a potential substrate for the heteroepitaxial diamond growth; Materials Letters; Vol. 321
Udgivet: (2022)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
af: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Udgivet: (Томск, 2024)

Natural Oxidation of Ultra-Thin Copper Films; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 9
Udgivet: (2018)

Piezoactive dense diphenylalanine thin films via solid-phase crystallization; Applied Materials Today; Vol. 26
Udgivet: (2022)

Modulation instability of two TE modes in a thin left-handed film on a nonlinear right-handed substrate; Quantum Electronics; Vol. 51, iss. 11
Udgivet: (2021)

Plasma diagnostics and characterization of the Mg and Mg–Zn thin films deposited by thermionic vacuum arc (TVA) method; Vacuum; Vol. 167
Udgivet: (2019)

Thermionic Vacuum Arc-A Versatile Technology for Thin Film Deposition and Its Applications; Coatings; Vol. 10, iss. 3
Udgivet: (2020)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
af: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
af: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Udgivet: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation; Materials Letters; Vol. 139
af: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Udgivet: (2015)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
af: Шафизаде Р. Б.
Udgivet: (Баку, Элм, 1983)

Thermal stability of a-C:H:SiOx thin films in hydrogen atmosphere; Thin Solid Films; Vol. 690
Udgivet: (2019)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2018)

Polylactic Acid Thin Films Properties after Steam Sterilization; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 2
Udgivet: (2020)

Effect of nitrogen content on structural and mechanical properties of AlTiZrTaHf(-N) high entropy films deposited by reactive magnetron sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 432
Udgivet: (2022)

Calcium phosphate coating deposition by radio frequency magnetron sputtering in the various inert gases: The pilot study; Materials Chemistry and Physics; Vol. 235
Udgivet: (2019)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Udgivet: (Томск, 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2018)

Thin-Film Deposition: Principles and Practice
af: Smith D. L. Donald L.
Udgivet: (Boston, McGraw Hill, 1995)

Theoretical and Experimental Research of Hydrogen Solid Solution in Mg and Mg-Al System; Materials; Vol. 15, iss. 5
Udgivet: (2022)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, 1998)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1982)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
af: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Udgivet: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 12, iss. 6
Udgivet: (2018)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1998)

Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis
af: Feldman L. C. Leonard
Udgivet: (New York, North-Holland, 1986)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
af: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Udgivet: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Сунь Чжилэй
Udgivet: (Томск, 2020)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
af: Белевский В. П. Владимир Петрович
Udgivet: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Udgivet: (Томск, 2023)

Synthesis, Transfer, and Gas Separation Characteristics of MOF-Templated Polymer Membranes; Membranes; Vol. 9, iss. 10
Udgivet: (2019)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
af: Данилина Т. И.
Udgivet: (Томск, 1970)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
af: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Udgivet: (Томск, 2011)

Radiation processes and phenomena in nanocomposite coatings; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Udgivet: (2016)

Theoretical and experimental research of hydrogen storage properties of Mg and Mg-Al hydrides; Journal of Alloys and Compounds; Vol. 938
Udgivet: (2022)