Автоматизированный комплекс для исследования полупроводниковых структур; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8 - Давыдов В. Н.; Троян П. Е.; Зайцев Н. Г.; Беляев С. В. (Технические науки, 2006)
Заглавие с титульного листа