Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 2; Особенности переноса заряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 309, № 1.— 2006.— [С. 56-59]
Weitere Verfasser:	Жуков В. В., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Пацевич В. В. Василий Викторович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (≤250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2006
Schriftenreihe:	Технические науки
Schlagworte:	свойства магнетронный разряд постоянный ток перенос заряда зондовые измерения электрический потенциал прикатодная область плазма структуры низкое напряжение формирование самораспыление двумерные модели растекание электронный ток конфигурации электроды распылительные системы аноды магнетроны холловский ток разрядные зоны магнитные поля плотность труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2006/v309/i1/10.pdf
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=171060