Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 2; Особенности переноса заряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 309, № 1.— 2006.— [С. 56-59] |
|---|---|
| Altres autors: | , , , |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (≤250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2006
|
| Col·lecció: | Технические науки |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2006/v309/i1/10.pdf |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=171060 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 171060 | ||
| 005 | 20240212132857.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\185504 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\185503 | ||
| 090 | |a 171060 | ||
| 100 | |a 20091201d2006 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Свойства магнетронного разряда на постоянном токе |h Ч. 2 |i Особенности переноса заряда |f В. В. Жуков [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (372 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Технические науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 59 (6 назв.)] | ||
| 330 | |a На основании зондовых измерений электрического потенциала в прикатодной области плазмы изучена структура магнетронного разряда на постоянном токе. Обнаружено, что при достаточно низком напряжении (≤250 В) разряд по своему строению напоминает тлеющий, а при более высоком важную роль в его формировании начинает играть процесс самораспыления мишени, являющийся неотъемлемым признаком магнетронного разряда. Построена двумерная модель растекания электронного тока из зоны разряда при заданных конфигурациях электродов распылительной системы. Показано, что положение анода относительно магнетрона сильно влияет на распределение холловского тока в разрядной зоне, а магнитное поле способствует разделению разряда на несколько зон с различными плотностями тока. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\185489 |t Т. 309, № 1 |v [С. 56-59] |d 2006 |p 267 с. | |
| 610 | 1 | |a свойства | |
| 610 | 1 | |a магнетронный разряд | |
| 610 | 1 | |a постоянный ток | |
| 610 | 1 | |a перенос заряда | |
| 610 | 1 | |a зондовые измерения | |
| 610 | 1 | |a электрический потенциал | |
| 610 | 1 | |a прикатодная область | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a структуры | |
| 610 | 1 | |a низкое напряжение | |
| 610 | 1 | |a формирование | |
| 610 | 1 | |a самораспыление | |
| 610 | 1 | |a двумерные модели | |
| 610 | 1 | |a растекание | |
| 610 | 1 | |a электронный ток | |
| 610 | 1 | |a конфигурации | |
| 610 | 1 | |a электроды | |
| 610 | 1 | |a распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a аноды | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 610 | 1 | |a холловский ток | |
| 610 | 1 | |a разрядные зоны | |
| 610 | 1 | |a магнитные поля | |
| 610 | 1 | |a плотность | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Жуков |b В. В. | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Пацевич |b В. В. |c российский ученый |c профессор кафедры теоретических основ электротехники Томского политехнического университета |f 1936-2005 |g Василий Викторович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19852 | |
| 701 | 1 | |a Янин |b С. Н. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1958- |g Сергей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792 |9 15048 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211014 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2006/v309/i1/10.pdf | |
| 942 | |c BK | ||