Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 308, № 6.— 2005.— [С. 69-74]
Outros Autores:	Жуков В. В., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Пацевич В. В. Василий Викторович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Resumo:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм.
Idioma:	russo
Publicado em:	2005
Colecção:	Технические науки
Assuntos:	свойства магнетронный разряд постоянный ток механизмы распыления мишени зондовые измерения электрический потенциал магнетронные диоды катоды скорость ионизация рабочий газ концентрация плазма координатное распределение ионные компоненты электронные компоненты разрядный ток энергетическое распределение ускоренные ионы аргон поверхность процессы приповерхностные слои электронный ресурс
Acesso em linha:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2005/v308/i6/14.pdf
Formato:	Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=170814

Registos relacionados

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 2; Особенности переноса заряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
Publicado em: (2006)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
Por: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Publicado em: (2004)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicado em: (2008)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Publicado em: (2004)

Влияние ограничения разрядного тока на характеристики излучения лазера на парах меди; Современные техника и технологии; Т. 1
Por: Губарев Ф. А. Фёдор Александрович
Publicado em: (2004)

Электропрофилирование на постоянном и переменном токе
Por: Вешев А. В. Александр Васильевич
Publicado em: (Ленинград, Недра, 1980)

Транзисторные генераторы импульсов
Por: Доронкин Е. Ф. Евгений Филиппович
Publicado em: (Москва, Связь, 1968)

Обнаружение фотопроводимости в сверхтонких металлических пленках в видимой инфракрасной областях спектра; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 5
Publicado em: (2003)

Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 1
Por: Лебедев Ю. А.
Publicado em: (2002)

Investigation of Tungsten DC Vacuum Arc Characteristics. Technological Application; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Por: Stepanov I. B. Igor Borisovich
Publicado em: (2004)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Publicado em: (2003)

Микропроцессорная техника конспект лекций для студ. спец. 220401 "мехатроника" очн. формы обучения
Por: Засов В. А.
Publicado em: (Самара, СамГУПС, 2008)

Спектральные представления в задачах возбуждения плоских взаимодействующих излучателей
Por: Коняшенко Е. А. Евгений Александрович
Publicado em: (Иркутск, Изд-во Иркут. ун-та, 1989)

Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
Publicado em: (2011)

Проект TFTR. Выпуск 2: пер. с англ.
Publicado em: (Москва, Атомиздат, 1978)

Электрические зондирования на постоянном токе в рудных районах
Por: Земцов В. Н. Владимир Николаевич
Publicado em: (Москва, Недра, 1990)

Технологические возможности магнетронного диода с испаряющейся мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Por: Третьяков Р. С.
Publicado em: (2011)

Управление проплавляющей способностью дуги при сварке неплавящимся электродом в среде аргона; Современные технологии, экономика и образование
Por: Скрипко С. И. Степан Игоревич
Publicado em: (2020)

Модифицирование PLLA матриксов методом магнетронного распыления медной мишени для придания им антибактериальных свойств; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
Por: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicado em: (2017)

Проводимость и распределение поля и токов в двухкомпонентной системе, составленной из правильных треугольников; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, № 1
Por: Овчинников Ю. Н.
Publicado em: (2002)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Шпакова Н. Ю.
Publicado em: (2011)

Распределение тока в обмотках трансформаторов
Por: Шафир Ю. Н. Юрий Натанович
Publicado em: (Москва, Энергоатомиздат, 1992)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Сунь Чжилэй
Publicado em: (2014)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
Por: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Publicado em: (2018)

Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Por: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Publicado em: (2009)

Анализ и синтез антенных решеток
Por: Чаплин А. Ф. Анатолий Федорович
Publicado em: (Львов, Вища школа, 1987)

Плазмотроны со стабилизированными электрическими дугами
Por: Даутов Г. Ю. Гали Юнусович
Publicado em: (Киев, Наукова думка, 1984)

Управление проплавляющей способностью дуги при сварке неплавящимся электродом в среде аргона; Современные проблемы машиностроения
Por: Гордынец А. С. Антон Сергеевич
Publicado em: (2020)

Выравнивающие устройства для аккумуляторных батарей; Схемотехника; № 5
Por: Онышко А.
Publicado em: (2003)

Моделирование распределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Por: Сайфуллин Э. Р.
Publicado em: (2016)

Влияние параметров режима на пространственную устойчивость дуги при сварке алюминиевых сплавов неплавящимся электродом в среде аргона; Вестник науки Сибири; № 4 (10)
Por: Киселев А. С. Алексей Сергеевич
Publicado em: (2013)

Подземные воды центральной части Кузбасса: химический состав в пределах различных ландшафтных областей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 1: Науки о Земле
Por: Токаренко О. Г. Ольга Григорьевна
Publicado em: (2012)

Расчёт распределения тока по поперечному сечению рельсотрона; Электромеханические преобразователи энергии
Por: Исаев Ю. Н. Юсуп Ниязбекович
Publicado em: (2009)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Бельгебаева Д. Е.
Publicado em: (2019)

Фотовольтаический и фоторефрактивный эффект в пьезоэлектрических кристаллах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
Por: Каримов Б. Х.
Publicado em: (2009)

Elektrische kraftubertragung und kraftverteilung
Por: Arldt C.
Publicado em: (Berlin, Junius Springer, 1901)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicado em: (2014)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
Por: Мазурик Е. А.
Publicado em: (2014)

Электротехника с основами промышленной электроники: учебник для среднего профессионально-технического образования
Por: Китаев В. Е. Валентин Евгеньевич
Publicado em: (Москва, Высшая школа, 1964)

Опыт исследования защиты генератора от замыканий на землю на наложенном постоянном токе для целей диагностики; Т. 1
Por: Юдин С. М.
Publicado em: (2001)