Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 308, № 6.— 2005.— [С. 69-74]
Otros Autores:	Жуков В. В., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Пацевич В. В. Василий Викторович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Sumario:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм.
Lenguaje:	ruso
Publicado:	2005
Colección:	Технические науки
Materias:	свойства магнетронный разряд постоянный ток механизмы распыления мишени зондовые измерения электрический потенциал магнетронные диоды катоды скорость ионизация рабочий газ концентрация плазма координатное распределение ионные компоненты электронные компоненты разрядный ток энергетическое распределение ускоренные ионы аргон поверхность процессы приповерхностные слои электронный ресурс
Acceso en línea:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2005/v308/i6/14.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=170814

Ejemplares similares

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 2; Особенности переноса заряда; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
Publicado: (2006)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
por: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Publicado: (2004)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicado: (2008)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Publicado: (2004)

Влияние ограничения разрядного тока на характеристики излучения лазера на парах меди; Современные техника и технологии; Т. 1
por: Губарев Ф. А. Фёдор Александрович
Publicado: (2004)

Электропрофилирование на постоянном и переменном токе
por: Вешев А. В. Александр Васильевич
Publicado: (Ленинград, Недра, 1980)

Транзисторные генераторы импульсов
por: Доронкин Е. Ф. Евгений Филиппович
Publicado: (Москва, Связь, 1968)

Обнаружение фотопроводимости в сверхтонких металлических пленках в видимой инфракрасной областях спектра; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 5
Publicado: (2003)

Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне; Журнал технической физики; Т. 72, вып. 1
por: Лебедев Ю. А.
Publicado: (2002)

Investigation of Tungsten DC Vacuum Arc Characteristics. Technological Application; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
por: Stepanov I. B. Igor Borisovich
Publicado: (2004)

Исследование пространственного распределения электрического потенциала в задаче построения феноменологической модели магнетронного разряда; Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы
Publicado: (2003)

Микропроцессорная техника конспект лекций для студ. спец. 220401 "мехатроника" очн. формы обучения
por: Засов В. А.
Publicado: (Самара, СамГУПС, 2008)

Спектральные представления в задачах возбуждения плоских взаимодействующих излучателей
por: Коняшенко Е. А. Евгений Александрович
Publicado: (Иркутск, Изд-во Иркут. ун-та, 1989)

Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
Publicado: (2011)

Проект TFTR. Выпуск 2: пер. с англ.
Publicado: (Москва, Атомиздат, 1978)

Электрические зондирования на постоянном токе в рудных районах
por: Земцов В. Н. Владимир Николаевич
Publicado: (Москва, Недра, 1990)

Технологические возможности магнетронного диода с испаряющейся мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
por: Третьяков Р. С.
Publicado: (2011)

Управление проплавляющей способностью дуги при сварке неплавящимся электродом в среде аргона; Современные технологии, экономика и образование
por: Скрипко С. И. Степан Игоревич
Publicado: (2020)

Модифицирование PLLA матриксов методом магнетронного распыления медной мишени для придания им антибактериальных свойств; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
por: Бадараев А. Д. Арсалан Доржиевич
Publicado: (2017)

Проводимость и распределение поля и токов в двухкомпонентной системе, составленной из правильных треугольников; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 121, № 1
por: Овчинников Ю. Н.
Publicado: (2002)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
por: Шпакова Н. Ю.
Publicado: (2011)

Распределение тока в обмотках трансформаторов
por: Шафир Ю. Н. Юрий Натанович
Publicado: (Москва, Энергоатомиздат, 1992)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
por: Сунь Чжилэй
Publicado: (2014)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
por: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Publicado: (2018)

Зависимость скорости нанесения покрытий от параметров магнетронного разряда; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
por: Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Publicado: (2009)

Анализ и синтез антенных решеток
por: Чаплин А. Ф. Анатолий Федорович
Publicado: (Львов, Вища школа, 1987)

Плазмотроны со стабилизированными электрическими дугами
por: Даутов Г. Ю. Гали Юнусович
Publicado: (Киев, Наукова думка, 1984)

Управление проплавляющей способностью дуги при сварке неплавящимся электродом в среде аргона; Современные проблемы машиностроения
por: Гордынец А. С. Антон Сергеевич
Publicado: (2020)

Выравнивающие устройства для аккумуляторных батарей; Схемотехника; № 5
por: Онышко А.
Publicado: (2003)

Моделирование распределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
por: Сайфуллин Э. Р.
Publicado: (2016)

Влияние параметров режима на пространственную устойчивость дуги при сварке алюминиевых сплавов неплавящимся электродом в среде аргона; Вестник науки Сибири; № 4 (10)
por: Киселев А. С. Алексей Сергеевич
Publicado: (2013)

Подземные воды центральной части Кузбасса: химический состав в пределах различных ландшафтных областей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 1: Науки о Земле
por: Токаренко О. Г. Ольга Григорьевна
Publicado: (2012)

Расчёт распределения тока по поперечному сечению рельсотрона; Электромеханические преобразователи энергии
por: Исаев Ю. Н. Юсуп Ниязбекович
Publicado: (2009)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
por: Бельгебаева Д. Е.
Publicado: (2019)

Фотовольтаический и фоторефрактивный эффект в пьезоэлектрических кристаллах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
por: Каримов Б. Х.
Publicado: (2009)

Elektrische kraftubertragung und kraftverteilung
por: Arldt C.
Publicado: (Berlin, Junius Springer, 1901)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
por: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicado: (2014)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
por: Мазурик Е. А.
Publicado: (2014)

Электротехника с основами промышленной электроники: учебник для среднего профессионально-технического образования
por: Китаев В. Е. Валентин Евгеньевич
Publicado: (Москва, Высшая школа, 1964)

Опыт исследования защиты генератора от замыканий на землю на наложенном постоянном токе для целей диагностики; Т. 1
por: Юдин С. М.
Publicado: (2001)