Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6 - Жуков В. В.; Кривобоков В. П. Валерий Павлович; Пацевич В. В. Василий Викторович; Янин С. Н. Сергей Николаевич (Технические науки, 2005)
Заглавие с титульного листа