Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 308, № 6.— 2005.— [С. 69-74] |
|---|---|
| Andere auteurs: | , , , |
| Samenvatting: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм. |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
2005
|
| Reeks: | Технические науки |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2005/v308/i6/14.pdf |
| Formaat: | Elektronisch Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=170814 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 170814 | ||
| 005 | 20240212132810.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\185222 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\185194 | ||
| 090 | |a 170814 | ||
| 100 | |a 20091126d2005 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Свойства магнетронного разряда на постоянном токе |h Ч. 1 |i Механизм распыления мишени |f В. В. Жуков [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (472 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Технические науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 74 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\185177 |t Т. 308, № 6 |v [С. 69-74] |d 2005 |p 275 с. | |
| 610 | 1 | |a свойства | |
| 610 | 1 | |a магнетронный разряд | |
| 610 | 1 | |a постоянный ток | |
| 610 | 1 | |a механизмы | |
| 610 | 1 | |a распыления | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a зондовые измерения | |
| 610 | 1 | |a электрический потенциал | |
| 610 | 1 | |a магнетронные диоды | |
| 610 | 1 | |a катоды | |
| 610 | 1 | |a скорость | |
| 610 | 1 | |a ионизация | |
| 610 | 1 | |a рабочий газ | |
| 610 | 1 | |a концентрация | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a координатное распределение | |
| 610 | 1 | |a ионные компоненты | |
| 610 | 1 | |a электронные компоненты | |
| 610 | 1 | |a разрядный ток | |
| 610 | 1 | |a энергетическое распределение | |
| 610 | 1 | |a ускоренные ионы | |
| 610 | 1 | |a аргон | |
| 610 | 1 | |a поверхность | |
| 610 | 1 | |a процессы | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a приповерхностные слои | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Жуков |b В. В. | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Пацевич |b В. В. |c российский ученый |c профессор кафедры теоретических основ электротехники Томского политехнического университета |f 1936-2005 |g Василий Викторович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19852 | |
| 701 | 1 | |a Янин |b С. Н. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1958- |g Сергей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792 |9 15048 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20211013 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2005/v308/i6/14.pdf | |
| 942 | |c CF | ||