Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 7.— 2004.— [С. 40-45]
Autor principal:	Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Altres autors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Sumari:	Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема управления параметрами магнетронного разряда в условиях его ассистирования пучком ускоренных ионов. Сделана попытка устранить ограничения в скорости осаждения покрытий при реактивном магнетронном распылении материалов на постоянном токе, вызванных образованием химических соединений на мишени. Предложен способ эффективного удаления продуктов химических реакций с поверхности распыляемого материала, основанный на ионном ассистировании магнетронного разряда внешним пучком ускоренных ионов. Рассмотрена комбинированная распылительная система магнетронного диода и ионного источника с замкнутым дрейфом электронов. Изучены ее основные электрофизические и технологические параметры. Показано, что при соблюдении определенных условий (мощность, парциальное давление реактивного газа, скорость подачи рабочей газовой смеси и др.) удается достичь значительного увеличения скорости осаждения оксидных пленок.
Publicat:	2004
Col·lecció:	Технические науки
Matèries:	распыление мишени ассистирование магнетронный разряд ионные пучки проблемы управление параметры условия ускоренные ионы скорость осаждение покрытия материалы постоянный ток химические соединения удаление продукты химические реакции поверхность распылительные системы магнетронные диоды ионные источники дрейф электроны электрофизические параметры технологические параметры мощность парциальное давление реактивные газы газовые смеси подача оксидные пленки труды учёных ТПУ электронный ресурс
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i7/09.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169980