Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 7.— 2004.— [С. 40-45] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , |
| Sumari: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Рассмотрена проблема управления параметрами магнетронного разряда в условиях его ассистирования пучком ускоренных ионов. Сделана попытка устранить ограничения в скорости осаждения покрытий при реактивном магнетронном распылении материалов на постоянном токе, вызванных образованием химических соединений на мишени. Предложен способ эффективного удаления продуктов химических реакций с поверхности распыляемого материала, основанный на ионном ассистировании магнетронного разряда внешним пучком ускоренных ионов. Рассмотрена комбинированная распылительная система магнетронного диода и ионного источника с замкнутым дрейфом электронов. Изучены ее основные электрофизические и технологические параметры. Показано, что при соблюдении определенных условий (мощность, парциальное давление реактивного газа, скорость подачи рабочей газовой смеси и др.) удается достичь значительного увеличения скорости осаждения оксидных пленок. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2004
|
| Col·lecció: | Технические науки |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i7/09.pdf |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169980 |
MARC
| LEADER | 00000nla2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 169980 | ||
| 005 | 20240212112850.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\184350 | ||
| 035 | |a RU\TPU\book\184347 | ||
| 090 | |a 169980 | ||
| 100 | |a 20091119d2004 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком |f В. В. Жуков, В. П. Кривобоков, С. Н. Янин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл (311 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Технические науки | |
| 300 | |a Заглавие с титульного листа | ||
| 300 | |a Электронная версия печатной публикации | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 45 (9 назв.)] | ||
| 330 | |a Рассмотрена проблема управления параметрами магнетронного разряда в условиях его ассистирования пучком ускоренных ионов. Сделана попытка устранить ограничения в скорости осаждения покрытий при реактивном магнетронном распылении материалов на постоянном токе, вызванных образованием химических соединений на мишени. Предложен способ эффективного удаления продуктов химических реакций с поверхности распыляемого материала, основанный на ионном ассистировании магнетронного разряда внешним пучком ускоренных ионов. Рассмотрена комбинированная распылительная система магнетронного диода и ионного источника с замкнутым дрейфом электронов. Изучены ее основные электрофизические и технологические параметры. Показано, что при соблюдении определенных условий (мощность, парциальное давление реактивного газа, скорость подачи рабочей газовой смеси и др.) удается достичь значительного увеличения скорости осаждения оксидных пленок. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\176237 |t Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ] |f Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2000- | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\book\184338 |t Т. 307, № 7 |v [С. 40-45] |d 2004 |p 195 с. | |
| 610 | 1 | |a распыление | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a ассистирование | |
| 610 | 1 | |a магнетронный разряд | |
| 610 | 1 | |a ионные пучки | |
| 610 | 1 | |a проблемы | |
| 610 | 1 | |a управление | |
| 610 | 1 | |a параметры | |
| 610 | 1 | |a условия | |
| 610 | 1 | |a ускоренные ионы | |
| 610 | 1 | |a скорость | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a материалы | |
| 610 | 1 | |a постоянный ток | |
| 610 | 1 | |a химические соединения | |
| 610 | 1 | |a удаление | |
| 610 | 1 | |a продукты | |
| 610 | 1 | |a химические реакции | |
| 610 | 1 | |a поверхность | |
| 610 | 1 | |a распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a магнетронные диоды | |
| 610 | 1 | |a ионные источники | |
| 610 | 1 | |a дрейф | |
| 610 | 1 | |a электроны | |
| 610 | 1 | |a электрофизические параметры | |
| 610 | 1 | |a технологические параметры | |
| 610 | 1 | |a мощность | |
| 610 | 1 | |a парциальное давление | |
| 610 | 1 | |a реактивные газы | |
| 610 | 1 | |a газовые смеси | |
| 610 | 1 | |a подача | |
| 610 | 1 | |a оксидные пленки | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 700 | 1 | |a Жуков |b В. В. |g Владислав Вячеславович | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Янин |b С. Н. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1958- |g Сергей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792 |9 15048 | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090623 |g PSBO | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20210728 |g PSBO | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i7/09.pdf | |
| 942 | |c CF | ||