Жуков В. В. Владислав Вячеславович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, & Янин С. Н. Сергей Николаевич. (2004). Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7. 2004.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Жуков В. В. Владислав Вячеславович, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, , Янин С. Н. Сергей Николаевич. Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7. 2004, 2004.
MLA(9版)引用形式Жуков В. В. Владислав Вячеславович, et al. Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7. 2004, 2004.