Экспериментальное исследование и математическое моделирование восстановления фторидных соединений импульсным электронным пучком
| Parent link: | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]/ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2000- Т. 307, № 5.— 2004.— [С. 89-93] |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены результаты экспериментального исследования разложения гексафторида вольфрама в смеси с азотом и гексафторида серы в смеси с водородом под действием импульсного электронного пучка. Приведены данные изменения состава смеси газов в реакторе, измеренные масс-спектрометром, затраты энергии электронного пучка на диссоциацию фторидных соединений. Проведено математическое моделирование низкотемпературной плазмы (N2 и WF6), (H2 и SF6) газовых сред при инжекции электронного пучка. |
| Published: |
2004
|
| Series: | Технические науки |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i5/17.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=169804 |
| Physical Description: | 1 файл (2.7 Мб) |
|---|---|
| Summary: | Заглавие с титульного листа Электронная версия печатной публикации Представлены результаты экспериментального исследования разложения гексафторида вольфрама в смеси с азотом и гексафторида серы в смеси с водородом под действием импульсного электронного пучка. Приведены данные изменения состава смеси газов в реакторе, измеренные масс-спектрометром, затраты энергии электронного пучка на диссоциацию фторидных соединений. Проведено математическое моделирование низкотемпературной плазмы (N2 и WF6), (H2 и SF6) газовых сред при инжекции электронного пучка. |