|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
169594 |
| 005 |
20231031163458.0 |
| 029 |
0 |
0 |
|a SU
|b 73025579
|f ТПУ
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\183955
|
| 090 |
|
|
|a 169594
|
| 100 |
|
|
|a 20091116d1973 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a p 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследования и разработка методик анализа тонких пленок и реактивов для очистки поверхностей
|e Отчет о НИР
|e Тема: № 50/72
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1973
|
| 215 |
|
|
|a 68 л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 66-68.
|
| 610 |
1 |
|
|a отчеты о НИР
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a реактивы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a анализ
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 675 |
|
|
|a 539.216(04)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 544-1(04)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Каплин
|b А. А.
|4 673
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический институт (ТПИ)
|c (1944-1991)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1123
|4 595
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20091116
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
