|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
165779 |
| 005 |
20231031161931.0 |
| 010 |
|
|
|a 5343008216
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\179829
|
| 090 |
|
|
|a 165779
|
| 100 |
|
|
|a 20090922d1992 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
|f В. Е. Борисенко
|g под ред. В. А. Лабунова
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 248 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 209-247.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая техника
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсный нагрев
|
| 610 |
1 |
|
|a твердофазные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллический кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a силициды
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные структуры
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Борисенко
|b В. Е.
|g Виктор Евгеньевич
|
| 702 |
|
1 |
|a Лабунов
|b В. А.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090922
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100225
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
