MARC

LEADER 00000nam1a2200000 4500
001 165494
005 20231031161807.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\179521 
035 |a RU\TPU\book\178218 
090 |a 165494 
100 |a 20090918d2009 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Технологические основы микроэлектроники  |e учебное пособие  |e в 2 ч.  |f Б. М. Симонов, А. В. Заводян  |g Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ) ; под ред. С. П. Тимошенкова 
210 |a Москва  |c МИЭТ  |d 2008 
700 1 |a Симонов  |b Б. М.  |g Борис Михайлович 
701 1 |a Заводян  |b А. В.  |g Алиса Викторовна 
702 1 |a Тимошенков  |b С. П.  |4 340 
712 0 2 |a Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20090903 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20090918  |g RCR 
942 |c BK