Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем

Détails bibliographiques
Parent link:	Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов/ под ред. Ю. А. Чаплыгина. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования.— , 2009.— 978-5-94774-337-1
Autres auteurs:	Королев М. А. Михаил Александрович, Крупкина Т. Ю. Татьяна Юрьевна, Путря М. Г. Михаил Георгиевич, Шевяков В. И. Василий Иванович
Résumé:	Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Langue:	russe
Publié:	2009
Sujets:	Интегральные схемы микроэлектроника схемы кремний конструкции изготовление масштабирование технология маршруты кремниевые интегральные схемы металлизация плазменное травление субмикронные технологии трехмерные микроструктуры приборно-технологическое моделирование учебные пособия
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=163395

Documents similaires

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
par: Королев М. А. Михаил Александрович
Publié: (2009)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Publié: (Москва, Мир, 1969)

Геронтология кремниевых интегральных схем
par: Горлов М. И. Митрофан Иванович
Publié: (Москва, Техносфера, 2004)

Интерактивные системы проектирования гибридных интегральных микросхем
par: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Publié: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Оценка безотказности интегральных микросхем
par: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Publié: (Москва, Радио и связь, 1983)

Измерение параметров цифровых интегральных микросхем
Publié: (Москва, Радио и связь, 1982)

Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
par: Глудкин О. П. Олег Павлович
Publié: (Москва, Радио и связь, 1981)

Физические основы проектирования кремниевых цифровых интегральных микросхем в монолитном и гибридном исполнении: учебное пособие
par: Попов В. Д. Виктор Дмитриевич
Publié: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Основы проектирования интегральных схем: пер. с англ.
par: Штерн Л. Лотар
Publié: (Москва, Энергия, 1973)

Кн. 2; Применение интегральных схем
Publié: (1987)

Управление технологическими процессами при производстве ИС
par: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Publié: (Киев, Знание, 1981)

Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем
Publié: (Москва, Машиностроение, 1980)

500 практических схем на ИС: пер. с англ.
par: Уитсон Дж. Джеймс
Publié: (Москва, Мир, 1992)

Кн. 1; Технология СБИС
Publié: (1986)

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
par: Таперо К. И. Константин Иванович
Publié: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
par: Таперо К. И. Константин Иванович
Publié: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018)

Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем: сборник научных трудов
Publié: (Москва, 1988)

Нано-КМОП-схемы и проектирование на физическом уровне: пер. с англ.
Publié: (Москва, Техносфера, 2014)

Моделирование физических процессов в элементах кремниевых интегральных микросхем
par: Абрамов И. И. Игорь Иванович
Publié: (Минск, БГУ, 1999)

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие
Publié: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
par: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Publié: (Минск, Беларусь, 1993)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
par: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Publié: (Минск, Беларусь, 1994)

Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии: пер. с англ.
Publié: (Москва, Советское радио, 1970)

Кн. 1; Применение интегральных схем
Publié: (1987)

Биполярные интегральные схемы с диэлектрической изоляцией
par: Никишин В. И. Валерий Иванович
Publié: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1980)

Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги: справочник
par: Пучков Н. А. Николай Анатольевич
Publié: (Москва, Машиностроение, 1993)

Аналоговые интегральные схемы. Операционные усилители и аналоговые перемножители: пер. с англ.
par: Херпи М. Миклош
Publié: (Москва, Радио и связь, 1983)

Элементы и узлы интегральных схем СВЧ: учебное пособие
par: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Publié: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Publié: (2007)

Средства повышения эффективности производства интегральных схем: сборник научных трудов
Publié: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Справочник по интегральным микросхемам
Publié: (Москва, Энергия, 1980)

Контроль технологии гибридных интегральных схем
par: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Publié: (Львов, Каменяр, 1981)

Машинный анализ интегральных схем. Вопросы теории и программирования
par: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Publié: (Москва, Советское радио, 1974)

Взаимозаменяемые интегральные схемы
par: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Publié: (Москва, РадиоСофт, 2010)

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие
Publié: (Москва, [Б. и.], 1977)

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
par: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич
Publié: (Новосибирск, Наука, 1993)

Разработка элементов гибридных интегральных схем оптического и миллиметрового диапазонов: сборник научных трудов
Publié: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)

Вероятностные методы анализа и расчета точности технологических процессов в приборостроении: учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
par: Петросянц К. О. Константин Орестович
Publié: (Москва, Машиностроение, 1979)

Теория регулярных структур: учебное пособие для вузов
par: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Publié: (Минск, Университетское, 1987)

Проекты и эксперименты с КМОП микросхемами: пер. с англ.
par: Брага Н. С. Ньютон С.
Publié: (Москва, ДМК Пресс, 2004)