Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
| Parent link: | Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов/ под ред. Ю. А. Чаплыгина. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования.— , 2009.— 978-5-94774-337-1 |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | , , , |
| Ամփոփում: | Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области. |
| Լեզու: | ռուսերեն |
| Հրապարակվել է: |
2009
|
| Խորագրեր: | |
| Ձևաչափ: | Գիրք |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=163395 |
Նմանատիպ նյութեր
Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
: Королев М. А. Михаил Александрович
Հրապարակվել է: (2009)
: Королев М. А. Михаил Александрович
Հրապարակվել է: (2009)
Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1969)
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1969)
Геронтология кремниевых интегральных схем
: Горлов М. И. Митрофан Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, Техносфера, 2004)
: Горлов М. И. Митрофан Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, Техносфера, 2004)
Интерактивные системы проектирования гибридных интегральных микросхем
: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)
: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Հրապարակվել է: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)
Оценка безотказности интегральных микросхем
: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1983)
: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1983)
Измерение параметров цифровых интегральных микросхем
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1982)
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1982)
Кн. 1; Технология СБИС
Հրապարակվել է: (1986)
Հրապարակվել է: (1986)
Основы проектирования интегральных схем: пер. с англ.
: Штерн Л. Лотар
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1973)
: Штерн Л. Лотар
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1973)
Кн. 2; Применение интегральных схем
Հրապարակվել է: (1987)
Հրապարակվել է: (1987)
Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)
Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
: Таперо К. И. Константин Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018)
: Таперо К. И. Константин Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018)
Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
: Таперо К. И. Константин Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)
: Таперо К. И. Константин Иванович
Հրապարակվել է: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)
Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
: Глудкин О. П. Олег Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1981)
: Глудкин О. П. Олег Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1981)
Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1980)
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1980)
Нано-КМОП-схемы и проектирование на физическом уровне: пер. с англ.
Հրապարակվել է: (Москва, Техносфера, 2014)
Հրապարակվել է: (Москва, Техносфера, 2014)
Управление технологическими процессами при производстве ИС
: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Հրապարակվել է: (Киев, Знание, 1981)
: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Հրապարակվել է: (Киев, Знание, 1981)
500 практических схем на ИС: пер. с англ.
: Уитсон Дж. Джеймс
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1992)
: Уитсон Дж. Джеймс
Հրապարակվել է: (Москва, Мир, 1992)
Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, 1988)
Հրապարակվել է: (Москва, 1988)
Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии: пер. с англ.
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1970)
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1970)
Физические основы проектирования кремниевых цифровых интегральных микросхем в монолитном и гибридном исполнении: учебное пособие
: Попов В. Д. Виктор Дмитриевич
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)
: Попов В. Д. Виктор Дмитриевич
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)
Аналоговые интегральные схемы: справочник
: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Հրապարակվել է: (Минск, Беларусь, 1993)
: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Հրապարակվել է: (Минск, Беларусь, 1993)
Аналоговые интегральные схемы: справочник
: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Հրապարակվել է: (Минск, Беларусь, 1994)
: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Հրապարակվել է: (Минск, Беларусь, 1994)
Биполярные интегральные схемы с диэлектрической изоляцией
: Никишин В. И. Валерий Иванович
Հրապարակվել է: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1980)
: Никишин В. И. Валерий Иванович
Հրապարակվել է: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1980)
Кн. 1; Применение интегральных схем
Հրապարակվել է: (1987)
Հրապարակվել է: (1987)
Аналоговые интегральные схемы. Операционные усилители и аналоговые перемножители: пер. с англ.
: Херпи М. Миклош
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1983)
: Херпи М. Миклош
Հրապարակվել է: (Москва, Радио и связь, 1983)
Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги: справочник
: Пучков Н. А. Николай Анатольевич
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1993)
: Пучков Н. А. Николай Анатольевич
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1993)
Элементы и узлы интегральных схем СВЧ: учебное пособие
: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)
: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)
Справочник по интегральным микросхемам
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1980)
Հրապարակվել է: (Москва, Энергия, 1980)
Средства повышения эффективности производства интегральных схем: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)
Հրապարակվել է: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)
Контроль технологии гибридных интегральных схем
: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Հրապարակվել է: (Львов, Каменяр, 1981)
: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Հրապարակվել է: (Львов, Каменяр, 1981)
Машинный анализ интегральных схем. Вопросы теории и программирования
: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1974)
: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1974)
Моделирование физических процессов в элементах кремниевых интегральных микросхем
: Абрамов И. И. Игорь Иванович
Հրապարակվել է: (Минск, БГУ, 1999)
: Абрамов И. И. Игорь Иванович
Հրապարակվել է: (Минск, БГУ, 1999)
Взаимозаменяемые интегральные схемы
: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Հրապարակվել է: (Москва, РадиоСофт, 2010)
: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Հրապարակվել է: (Москва, РадиоСофт, 2010)
Физические основы проектирования кремниевых цифровых интегральных микросхем в монолитном и гибридном исполнении
: Попов В. Д.
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)
: Попов В. Д.
Հրապարակվել է: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)
Разработка элементов гибридных интегральных схем оптического и миллиметрового диапазонов: сборник научных трудов
Հրապարակվել է: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)
Հրապարակվել է: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)
Теория регулярных структур: учебное пособие для вузов
: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Հրապարակվել է: (Минск, Университетское, 1987)
: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Հրապարակվել է: (Минск, Университетское, 1987)
Вероятностные методы анализа и расчета точности технологических процессов в приборостроении: учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
: Петросянц К. О. Константин Орестович
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1979)
: Петросянц К. О. Константин Орестович
Հրապարակվել է: (Москва, Машиностроение, 1979)
Проекты и эксперименты с КМОП микросхемами: пер. с англ.
: Брага Н. С. Ньютон С.
Հրապարակվել է: (Москва, ДМК Пресс, 2004)
: Брага Н. С. Ньютон С.
Հրապարակվել է: (Москва, ДМК Пресс, 2004)
Цифровые интегральные схемы, микропроцессоры и микро-ЭВМ
: Вальков В. М. Виталий Михайлович
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1977)
: Вальков В. М. Виталий Михайлович
Հրապարակվել է: (Москва, Советское радио, 1977)
[Вып. 102] : Системы автоматизированного проектирования интегральных схем; Вопросы кибернетики
Հրապարակվել է: (1984)
Հրապարակվել է: (1984)