|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
163395 |
| 005 |
20231101222406.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785947745856
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\177283
|
| 090 |
|
|
|a 163395
|
| 100 |
|
|
|a 20090817d2009 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
|f М. А. Королев [и др.]
|
| 210 |
|
|
|d 2009
|
| 215 |
|
|
|a 423 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 416-422.
|
| 330 |
|
|
|a Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\183702
|y 978-5-94774-337-1
|t Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
|o учебное пособие для вузов
|o в 2 ч.
|f под ред. Ю. А. Чаплыгина
|v Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
|d 2009
|s Электроника
|
| 606 |
1 |
|
|a Интегральные схемы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\12775
|9 39495
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкции
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a масштабирование
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a маршруты
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a субмикронные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a трехмерные микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a приборно-технологическое моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Королев
|b М. А.
|g Михаил Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Крупкина
|b Т. Ю.
|g Татьяна Юрьевна
|
| 701 |
|
1 |
|a Путря
|b М. Г.
|g Михаил Георгиевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Шевяков
|b В. И.
|g Василий Иванович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090817
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150619
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Электроника и микроэлектроника
|
| 900 |
|
|
|a Полупроводниковые, микропроцессорные и преобразовательные устройства
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210100
|
| 959 |
|
|
|a 81/20090817
|d 5
|e 253,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|f УФ:3
|
