Королев М. А. Михаил Александрович, Крупкина Т. Ю. Татьяна Юрьевна, Путря М. Г. Михаил Георгиевич, & Шевяков В. И. Василий Иванович. (2009). Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. 2009.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Королев М. А. Михаил Александрович, Крупкина Т. Ю. Татьяна Юрьевна, Путря М. Г. Михаил Георгиевич, и Шевяков В. И. Василий Иванович. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. 2009, 2009.
Цитирование MLA (9-е изд.)Королев М. А. Михаил Александрович, et al. Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. 2009, 2009.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.