MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 163148
005 20231031160708.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\176983 
090 |a 163148 
100 |a 20090714d1970 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Введение в технологию полупроводниковых материалов  |e учебное пособие  |f С. А. Медведев  
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1970 
215 |a 504 с.  |c ил. 
320 |a Библиография в конце глав. 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a производство 
610 1 |a кристаллы 
610 1 |a состав 
610 1 |a структура 
610 1 |a выращивание 
610 1 |a обработка 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a свойства 
610 1 |a учебные пособия 
675 |a 621.315(075.8)  |v 3 
700 1 |a Медведев  |b С. А.  |g Сергей Александрович 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20090714  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150505  |g RCR 
942 |c BK