MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 162405
005 20231031160346.0
010 |a 5229005122 
020 |a RU  |b 92-26224 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\176133 
090 |a 162405 
100 |a 20090622d1992 km a0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Термодинамика и материаловедение полупроводников  |g под ред. В. М. Глазова 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1992 
215 |a 391 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 356-391. 
610 1 |a полупроводники 
610 1 |a термодинамика 
610 1 |a материаловедение 
610 1 |a материалы 
610 1 |a интегральная микроэлектронная техника 
675 |a 537.315  |v 3 
702 1 |a Глазов  |b В. М.  |g Василий Михайлович  |4 340 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20090622  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20190617  |g PSBO 
942 |c BK