Вакуумно-плазменные процессы и технологии: учебное пособие для вузов

Вакуумно-плазменные процессы и технологии: учебное пособие для вузов

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Ефремов А. М.
مؤلف مشترك:	Ивановский государственный химико-технологический университет
مؤلفون آخرون:	Светцов В. И., Рыбкин В. В.
الملخص:	Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
اللغة:	الروسية
منشور في:	Иваново, Изд-во Ивановского хим.-технологич. ун-та, 2006
الموضوعات:	Плазмохимические процессы плазма химические свойства физические свойства электрический разряд газовый разряд монокристаллы химическая технология активные частицы микроэлектроника неорганические материалы плазменная обработка технологии полимерные материалы ионно-плазменные технологии плазмохимические процессы контроль учебные пособия
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=162325

مواد مشابهة

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
حسب: Яфаров Р. К. Равиль Кяшшафович
منشور في: (Москва, Физматлит, 2009)

Ч. 2; Плазменные процессы и технологии
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (2009)

Ч. 2; Плазменные технологии переработки веществ
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (2009)

Ч. 1; Плазменные процессы и технологии
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (2008)

Исследование процесса переработки ильменитового концентрата в плазме в. ч. разрядов с целью получения синтетического рутила: научный отчет
منشور في: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Плазменные технологии в строительстве
منشور في: (Томск, Изд-во ТГАСУ, 2005)

Синтез в низкотемпературной плазме
منشور في: (Москва, Наука, 1980)

Процессы и аппараты плазмохимической технологии: учебное пособие для вузов
منشور في: (Киев, Вища школа, 1979)

Плазмохимические процессы и аппараты
حسب: Сурис А. Л. Александр Лазаревич
منشور في: (М, Химия, 1989)

Плазменные электротехнологические установки: учебное пособие для вузов
حسب: Чередниченко В. С. Владимир Семенович
منشور في: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2008)

Диагностика неравновесной химически активной плазмы
حسب: Животов В. К. Виктор Константинович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Электрофизические основы техники высоких напряжений учебник
حسب: Бортник И. М.
منشور في: (Москва, НИУ МЭИ, 2018)

Технология плазмохимических производств: учебное пособие
حسب: Пархоменко В. Д. Владимир Дмитриевич
منشور في: (Киев, Выща школа, 1991)

Плазменные техника и технологии: электронный курс
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (Томск, TPU Moodle, 2015)

Высоковольтные электротехнологии: учебное пособие для втузов по курсу Основы электротехнологии
منشور في: (Москва, Изд-во МЭИ, 2000)

Ч. 1; Плазменные процессы и технологии
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (2008)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
حسب: Данилин Б. С. Борис Степанович
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Электрофизические основы техники высоких напряжений: учебник для вузов
منشور في: (Москва, Издательский дом МЭИ, 2022)

Электрофизические основы техники высоких напряжений: учебник для вузов
منشور في: (Москва, Издательский дом МЭИ, 2010)

Плазменные технологии переработки веществ: электронный курс
حسب: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
منشور في: (Томск, TPU Moodle, 2016)

Импульсные электронные пучки в плазмохимических и радиационных технологиях: лабораторный практикум; учебное пособие
منشور في: (Томск, Изд-во ТПУ, 2015)

Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
حسب: Геллер В. М. Владимир Михайлович
منشور في: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2011)

Ч. 1; Плазменные техника и технологии в ядерном топливном цикле
منشور في: (Томск, Изд-во ТПУ, 2020)

Исследования по использованию в. ч. плазмотронов в плазменной технологии дисперсных материалов: научный отчет
منشور في: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химико-металлургических процессах: учебное пособие для студентов вузов специализирующихся в области физики низкотемпературной плазмы, специальных металлургических и плазмохимических процессов
حسب: Дзюба В. Л. Вячеслав Леонидович
منشور في: (Киев, Вища школа, 1991)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
منشور في: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
منشور في: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Амплитудная модуляция высокочастотного факельного разряда как способ управления параметрами плазмы: научный отчет
منشور في: (Томск, Из-во ТПИ, 1976)

Плазмохимические реакции и процессы
منشور في: (Москва, Наука, 1977)

Исследование по согласованию высокочастотного генератора с нагрузкой в виде высокочастотного факельного плазмотрона. Сообщение 1: отчет о НИР
منشور في: (Томск, Изд-во ТПИ, 1975)

Физика высокочастотного емкостного разряда
حسب: Савинов В. П. Владимир Павлович
منشور في: (Москва, Физматлит, 2013)

Генерация и исследование амплитудно-модулированной плазмы высокочастотного факельного разряда: научный отчет
منشور في: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Исследование процесса денитрации водных растворов уранилнитрата в условиях плазмы в. ч. разрядов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.01
حسب: Цой В. В. Василий Васильевич
منشور في: (Томск, 1972)

Исследование процесса денитрации водных растворов уранилнитрата в условиях плазмы в. ч. разрядов: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.01
حسب: Цой В. В. Василий Васильевич
منشور في: (Томск, 1972)

Плазмодинамический синтез ультрадисперсного карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
حسب: Никитин Д. С. Дмитрий Сергеевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2019)

Исследования плазменных процессов и устройств: сборник научных трудов
منشور في: (Минск, Изд-во АН БССР, 1978)

Окисление газообразных олефинов в плазме барьерного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.13
حسب: Очередько А. Н. Андрей Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2015)

Ч. 2; Тепло- и массообмен в плазмохимических процессах
منشور في: (Минск, Изд-во ИТМО, 1982)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
منشور في: (2017)

Плазменные, высокочастотные, микроволновые и лазерные технологии в химико-металлургических процессах.
حسب: Туманов Ю. Н.
منشور في: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2010)