Вакуумно-плазменные процессы и технологии: учебное пособие для вузов

Вакуумно-плазменные процессы и технологии: учебное пособие для вузов

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Ефремов А. М.
Autor Corporativo:	Ивановский государственный химико-технологический университет
Otros Autores:	Светцов В. И., Рыбкин В. В.
Sumario:	Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Иваново, Изд-во Ивановского хим.-технологич. ун-та, 2006
Materias:	Плазмохимические процессы плазма химические свойства физические свойства электрический разряд газовый разряд монокристаллы химическая технология активные частицы микроэлектроника неорганические материалы плазменная обработка технологии полимерные материалы ионно-плазменные технологии плазмохимические процессы контроль учебные пособия
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=162325

Ejemplares similares

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
por: Яфаров Р. К. Равиль Кяшшафович
Publicado: (Москва, Физматлит, 2009)

Ч. 2; Плазменные процессы и технологии
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (2009)

Ч. 2; Плазменные технологии переработки веществ
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (2009)

Ч. 1; Плазменные процессы и технологии
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (2008)

Исследование процесса переработки ильменитового концентрата в плазме в. ч. разрядов с целью получения синтетического рутила: научный отчет
Publicado: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Плазменные технологии в строительстве
Publicado: (Томск, Изд-во ТГАСУ, 2005)

Синтез в низкотемпературной плазме
Publicado: (Москва, Наука, 1980)

Плазменные электротехнологические установки: учебное пособие для вузов
por: Чередниченко В. С. Владимир Семенович
Publicado: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2008)

Процессы и аппараты плазмохимической технологии: учебное пособие для вузов
Publicado: (Киев, Вища школа, 1979)

Плазмохимические процессы и аппараты
por: Сурис А. Л. Александр Лазаревич
Publicado: (М, Химия, 1989)

Электрофизические основы техники высоких напряжений учебник
por: Бортник И. М.
Publicado: (Москва, НИУ МЭИ, 2018)

Плазменные техника и технологии: электронный курс
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (Томск, TPU Moodle, 2015)

Диагностика неравновесной химически активной плазмы
por: Животов В. К. Виктор Константинович
Publicado: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Технология плазмохимических производств: учебное пособие
por: Пархоменко В. Д. Владимир Дмитриевич
Publicado: (Киев, Выща школа, 1991)

Высоковольтные электротехнологии: учебное пособие для втузов по курсу Основы электротехнологии
Publicado: (Москва, Изд-во МЭИ, 2000)

Ч. 1; Плазменные процессы и технологии
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (2008)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
por: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publicado: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Импульсные электронные пучки в плазмохимических и радиационных технологиях: лабораторный практикум; учебное пособие
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2015)

Плазменные технологии переработки веществ: электронный курс
por: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publicado: (Томск, TPU Moodle, 2016)

Ч. 1; Плазменные техника и технологии в ядерном топливном цикле
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2020)

Электрофизические основы техники высоких напряжений: учебник для вузов
Publicado: (Москва, Издательский дом МЭИ, 2010)

Электрофизические основы техники высоких напряжений: учебник для вузов
Publicado: (Москва, Издательский дом МЭИ, 2022)

Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химико-металлургических процессах: учебное пособие для студентов вузов специализирующихся в области физики низкотемпературной плазмы, специальных металлургических и плазмохимических процессов
por: Дзюба В. Л. Вячеслав Леонидович
Publicado: (Киев, Вища школа, 1991)

Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
por: Геллер В. М. Владимир Михайлович
Publicado: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2011)

Исследования по использованию в. ч. плазмотронов в плазменной технологии дисперсных материалов: научный отчет
Publicado: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Publicado: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Плазмохимические реакции и процессы
Publicado: (Москва, Наука, 1977)

Амплитудная модуляция высокочастотного факельного разряда как способ управления параметрами плазмы: научный отчет
Publicado: (Томск, Из-во ТПИ, 1976)

Физика высокочастотного емкостного разряда
por: Савинов В. П. Владимир Павлович
Publicado: (Москва, Физматлит, 2013)

Генерация и исследование амплитудно-модулированной плазмы высокочастотного факельного разряда: научный отчет
Publicado: (Томск, Изд-во ТПИ, 1974)

Исследование по согласованию высокочастотного генератора с нагрузкой в виде высокочастотного факельного плазмотрона. Сообщение 1: отчет о НИР
Publicado: (Томск, Изд-во ТПИ, 1975)

Исследование процесса денитрации водных растворов уранилнитрата в условиях плазмы в. ч. разрядов: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.01
por: Цой В. В. Василий Васильевич
Publicado: (Томск, 1972)

Исследование процесса денитрации водных растворов уранилнитрата в условиях плазмы в. ч. разрядов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.01
por: Цой В. В. Василий Васильевич
Publicado: (Томск, 1972)

Исследования плазменных процессов и устройств: сборник научных трудов
Publicado: (Минск, Изд-во АН БССР, 1978)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Publicado: (2017)

Окисление газообразных олефинов в плазме барьерного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.13
por: Очередько А. Н. Андрей Николаевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2015)

Плазмодинамический синтез ультрадисперсного карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02
por: Никитин Д. С. Дмитрий Сергеевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2019)

Ч. 2; Тепло- и массообмен в плазмохимических процессах
Publicado: (Минск, Изд-во ИТМО, 1982)

Электроразрядный метод визуализации
por: Кожаринов В. В. Валерий Владимирович
Publicado: (Минск, Наука и техника, 1986)