|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
162325 |
| 005 |
20231101222319.0 |
| 010 |
|
|
|a 5961601552
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\176043
|
| 090 |
|
|
|a 162325
|
| 100 |
|
|
|a 20090619d2006 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Вакуумно-плазменные процессы и технологии
|e учебное пособие для вузов
|f А. М. Ефремов, В. И. Светцов, В. В. Рыбкин
|g Ивановский государственный химико-технологический университет
|
| 210 |
|
|
|a Иваново
|c Изд-во Ивановского хим.-технологич. ун-та
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 260 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 258.
|
| 330 |
|
|
|a Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазмохимические процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\30987
|9 84255
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a химические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a физические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрический разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a газовый разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a активные частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a неорганические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a полимерные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 66.011:533.9(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Ефремов
|b А. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Светцов
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Рыбкин
|b В. В.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Ивановский государственный химико-технологический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\6781
|9 24268
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090619
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201021
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Плазменные процессы и технологии
|
| 900 |
|
|
|a Вакуумное оборудование плазменных и ускорительных систем
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 74/20090619
|d 3
|e 442,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:2
|
