Вакуумно-плазменные процессы и технологии, учебное пособие для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях. |
| Language: | Russian |
| Published: |
Иваново, Изд-во Ивановского хим.-технологич. ун-та, 2006
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=162325 |
| Physical Description: | 260 с. ил. |
|---|---|
| Summary: | Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях. |
| ISBN: | 5961601552 |