Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники заключительный отчет о НИР тема: х/д 5-23/80 - Каплин А. А.; Колпаков В. А.; Стромберг А. Г. Армин Генрихович (Томск, 1981)