Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Bibliographic Details
Other Authors:	Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Мочалов А. И. Алексей Иванович, Сулимин А. И. Александр Иванович, Шевяков В. И. Василий Иванович
Summary:	Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Language:	Russian
Published:	Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009
Subjects:	Интегральные схемы кремниевые интегральные схемы микроэлектроника выпрямляющие контакты омические контакты силицидные контактные слои тепловая устойчивость диффузионно-барьерные слои многоуровневая система диэлектрические слои медные межсоединения технология учебные пособия полупроводниковые приборы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=157306

Similar Items

Компоненты МОП-интегральных микросхем
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1991)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Published: (2009)

Кн. 2; Применение интегральных схем
Published: (1987)

Основы проектирования интегральных схем: пер. с англ.
by: Штерн Л. Лотар
Published: (Москва, Энергия, 1973)

Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем: сборник научных трудов
Published: (Москва, 1988)

Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем
Published: (Москва, Машиностроение, 1980)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
by: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Published: (Минск, Беларусь, 1993)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
by: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Published: (Минск, Беларусь, 1994)

Кн. 1; Применение интегральных схем
Published: (1987)

Элементы и узлы интегральных схем СВЧ: учебное пособие
by: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Published: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)

Средства повышения эффективности производства интегральных схем: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Контроль технологии гибридных интегральных схем
by: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Published: (Львов, Каменяр, 1981)

Кн. 1; Технология СБИС
Published: (1986)

Машинный анализ интегральных схем. Вопросы теории и программирования
by: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Published: (Москва, Советское радио, 1974)

Электроника ультрабольших интегральных схем: пер. с англ.
by: Ферри Д. Давид
Published: (Москва, Мир, 1991)

Цифровые интегральные схемы, микропроцессоры и микро-ЭВМ
by: Вальков В. М. Виталий Михайлович
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Интерактивные системы проектирования гибридных интегральных микросхем
by: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Разработка элементов гибридных интегральных схем оптического и миллиметрового диапазонов: сборник научных трудов
Published: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)

Оценка безотказности интегральных микросхем
by: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Измерение параметров цифровых интегральных микросхем
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии: пер. с англ.
Published: (Москва, Советское радио, 1970)

Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги: справочник
by: Пучков Н. А. Николай Анатольевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1993)

[Вып. 102] : Системы автоматизированного проектирования интегральных схем; Вопросы кибернетики
Published: (1984)

500 практических схем на ИС: пер. с англ.
by: Уитсон Дж. Джеймс
Published: (Москва, Мир, 1992)

Проектирование топологии интегральных схем на ЭВМ: учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
by: Баталов Б. В. Борис Васильевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1979)

Аналоговые интегральные схемы. Операционные усилители и аналоговые перемножители: пер. с англ.
by: Херпи М. Миклош
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Справочник по интегральным микросхемам
Published: (Москва, Энергия, 1980)

Ч. 1 : Основы расчета интегральных схем и линейные схемы; Анализ и расчет интегральных схем
Published: (1969)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1969)

Геронтология кремниевых интегральных схем
by: Горлов М. И. Митрофан Иванович
Published: (Москва, Техносфера, 2004)

Моделирование компонентов и элементов интегральных схем: учебное пособие для вузов
by: Петров М. Н. Михаил Николаевич
Published: (СПб., Лань, 2011)

Взаимозаменяемые интегральные схемы
by: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Published: (Москва, РадиоСофт, 2010)

Управление технологическими процессами при производстве ИС
by: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Published: (Киев, Знание, 1981)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Теория регулярных структур: учебное пособие для вузов
by: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Published: (Минск, Университетское, 1987)

Детектирование нейтронов монокристаллами кремния с омическими контактами; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Published: (2013)

Определение асептического воздействия омического нагрева органических пищевых жидкостей в лабораторных условиях; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Тихонов Н. В. Николай Викторович
Published: (2013)

Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига; Вестник науки Сибири; № 1 (2)
Published: (2012)

Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
by: Глудкин О. П. Олег Павлович
Published: (Москва, Радио и связь, 1981)

Физические основы надёжности интегральных схем
Published: (Москва, Советское радио, 1976)