Металлизация ультрабольших интегральных схем учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем, учебное пособие

Dettagli Bibliografici
Altri autori:	Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Мочалов А. И. Алексей Иванович, Сулимин А. И. Александр Иванович, Шевяков В. И. Василий Иванович
Riassunto:	Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Pubblicazione:	Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009
Soggetti:	кремниевые интегральные схемы микроэлектроника выпрямляющие контакты омические контакты силицидные контактные слои тепловая устойчивость диффузионно-барьерные слои многоуровневая система диэлектрические слои медные межсоединения технология учебные пособия полупроводниковые приборы
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=157306

Documenti analoghi

Компоненты МОП-интегральных микросхем
di: Румак Н. В. Николай Владимирович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1991)

Кн. 1
Pubblicazione: (1986)

Основы проектирования интегральных схем пер. с англ.
di: Штерн Л. Лотар
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1973)

Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем сборник научных трудов
Pubblicazione: (Москва, 1988)

Разработка элементов гибридных интегральных схем оптического и миллиметрового диапазонов сборник научных трудов
Pubblicazione: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)

Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1980)

Элементы и узлы интегральных схем СВЧ учебное пособие
di: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)

Средства повышения эффективности производства интегральных схем сборник научных трудов
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Pubblicazione: (2009)

Контроль технологии гибридных интегральных схем
di: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Pubblicazione: (Львов, Каменяр, 1981)

Машинный анализ интегральных схем. Вопросы теории и программирования
di: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1974)

Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1970)

Интерактивные системы проектирования гибридных интегральных микросхем
di: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Оценка безотказности интегральных микросхем
di: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
di: Королев М. А. Михаил Александрович
Pubblicazione: (2009)

Измерение параметров цифровых интегральных микросхем
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1982)

[Вып. 102] : Системы автоматизированного проектирования интегральных схем
Pubblicazione: (1984)

Проектирование топологии интегральных схем на ЭВМ учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
di: Баталов Б. В. Борис Васильевич
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1979)

Аналоговые интегральные схемы. Операционные усилители и аналоговые перемножители пер. с англ.
di: Херпи М. Миклош
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Справочник по интегральным микросхемам
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1980)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1969)

Взаимозаменяемые интегральные схемы
di: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Pubblicazione: (Москва, РадиоСофт, 2010)

Моделирование компонентов и элементов интегральных схем учебное пособие для вузов
di: Петров М. Н. Михаил Николаевич
Pubblicazione: (СПб., Лань, 2011)

Управление технологическими процессами при производстве ИС
di: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Pubblicazione: (Киев, Знание, 1981)

Вып. 18
Pubblicazione: (1980)

Теория регулярных структур учебное пособие для вузов
di: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Pubblicazione: (Минск, Университетское, 1987)

Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
di: Глудкин О. П. Олег Павлович
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1981)

Проекты и эксперименты с КМОП микросхемами пер. с англ.
di: Брага Н. С. Ньютон С.
Pubblicazione: (Москва, ДМК Пресс, 2004)

Вероятностные методы анализа и расчета точности технологических процессов в приборостроении учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
di: Петросянц К. О. Константин Орестович
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1979)

Нано-КМОП-схемы и проектирование на физическом уровне пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2014)

Биполярные интегральные схемы с диэлектрической изоляцией
di: Никишин В. И. Валерий Иванович
Pubblicazione: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1980)

Контроль параметров омических контактов непосредственно в процессе их отжига
Pubblicazione: (2012)

Определение асептического воздействия омического нагрева органических пищевых жидкостей в лабораторных условиях
di: Тихонов Н. В. Николай Викторович
Pubblicazione: (2013)

Детектирование нейтронов монокристаллами кремния с омическими контактами
di: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Pubblicazione: (2013)

Физические основы надёжности интегральных схем
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1976)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
di: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Pubblicazione: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
di: Таперо К. И. Константин Иванович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения
di: Таперо К. И. Константин Иванович
Pubblicazione: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018)

Методика экстракции емкостных паразитных параметров межсоединений интегральных микросхем
di: Авдеев А. Ю.
Pubblicazione: (2003)

Analysis and Design of Analog Integrated Circuits
di: Gray P. R. Paul R.
Pubblicazione: ( New York, Wiley & sons, 1977)