Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Библиографические подробности
Другие авторы:	Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Мочалов А. И. Алексей Иванович, Сулимин А. И. Александр Иванович, Шевяков В. И. Василий Иванович
Примечания:	Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009
Предметы:	Интегральные схемы кремниевые интегральные схемы микроэлектроника выпрямляющие контакты омические контакты силицидные контактные слои тепловая устойчивость диффузионно-барьерные слои многоуровневая система диэлектрические слои медные межсоединения технология учебные пособия полупроводниковые приборы
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=157306

Схожие документы

Компоненты МОП-интегральных микросхем
по: Румак Н. В. Николай Владимирович
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1991)

Кн. 1; Технология СБИС
Опубликовано: (1986)

Кн. 2; Применение интегральных схем
Опубликовано: (1987)

Основы проектирования интегральных схем: пер. с англ.
по: Штерн Л. Лотар
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1973)

Технология, проектирование и надежность интегральных полупроводниковых схем: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, 1988)

Физико-топологические модели для автоматизации проектирования полупроводниковых и вакуумных элементов интегральных схем
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1980)

Разработка элементов гибридных интегральных схем оптического и миллиметрового диапазонов: сборник научных трудов
Опубликовано: (Тула, Изд-во ТПИ, 1985)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Опубликовано: (2009)

Кн. 1; Применение интегральных схем
Опубликовано: (1987)

Элементы и узлы интегральных схем СВЧ: учебное пособие
по: Абрамов В. П. Валерий Павлович
Опубликовано: (Москва, Изд-во МВТУ, 1986)

Контроль технологии гибридных интегральных схем
по: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Опубликовано: (Львов, Каменяр, 1981)

Средства повышения эффективности производства интегральных схем: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1985)

Машинный анализ интегральных схем. Вопросы теории и программирования
по: Чахмахсазян Е. А. Екатерина Артемьевна
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1974)

Интегральные схемы. Основы проектирования и технологии: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1970)

Интерактивные системы проектирования гибридных интегральных микросхем
по: Добронравов О. Е. Олег Евгеньевич
Опубликовано: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
по: Королев М. А. Михаил Александрович
Опубликовано: (2009)

Оценка безотказности интегральных микросхем
по: Смирнов Н. И. Николай Исаакович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1983)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
по: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Опубликовано: (Минск, Беларусь, 1993)

Аналоговые интегральные схемы: справочник
по: Булычев А. Л. Анатолий Леонидович
Опубликовано: (Минск, Беларусь, 1994)

Измерение параметров цифровых интегральных микросхем
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1982)

Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги: справочник
по: Пучков Н. А. Николай Анатольевич
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1993)

[Вып. 102] : Системы автоматизированного проектирования интегральных схем; Вопросы кибернетики
Опубликовано: (1984)

500 практических схем на ИС: пер. с англ.
по: Уитсон Дж. Джеймс
Опубликовано: (Москва, Мир, 1992)

Аналоговые интегральные схемы. Операционные усилители и аналоговые перемножители: пер. с англ.
по: Херпи М. Миклош
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1983)

Проектирование топологии интегральных схем на ЭВМ: учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
по: Баталов Б. В. Борис Васильевич
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1979)

Справочник по интегральным микросхемам
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1980)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Мир, 1969)

Взаимозаменяемые интегральные схемы
по: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Опубликовано: (Москва, РадиоСофт, 2010)

Моделирование компонентов и элементов интегральных схем: учебное пособие для вузов
по: Петров М. Н. Михаил Николаевич
Опубликовано: (СПб., Лань, 2011)

Управление технологическими процессами при производстве ИС
по: Медведев Ю. П. Юрий Павлович
Опубликовано: (Киев, Знание, 1981)

Электроника ультрабольших интегральных схем: пер. с англ.
по: Ферри Д. Давид
Опубликовано: (Москва, Мир, 1991)

Цифровые интегральные схемы, микропроцессоры и микро-ЭВМ
по: Вальков В. М. Виталий Михайлович
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1977)

Теория регулярных структур: учебное пособие для вузов
по: Новиков С. В. Сергей Вячеславович
Опубликовано: (Минск, Университетское, 1987)

Вып. 18; Диэлектрики и полупроводники
Опубликовано: (1980)

Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
по: Глудкин О. П. Олег Павлович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1981)

Проекты и эксперименты с КМОП микросхемами: пер. с англ.
по: Брага Н. С. Ньютон С.
Опубликовано: (Москва, ДМК Пресс, 2004)

Вероятностные методы анализа и расчета точности технологических процессов в приборостроении: учебное пособие для слушателей заочных курсов повышения квалификации
по: Петросянц К. О. Константин Орестович
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 1979)

Нано-КМОП-схемы и проектирование на физическом уровне: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2014)

Биполярные интегральные схемы с диэлектрической изоляцией
по: Никишин В. И. Валерий Иванович
Опубликовано: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1980)

Физические основы надёжности интегральных схем
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1976)