APA (7th ed.) Citation

Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Мочалов А. И. Алексей Иванович, Сулимин А. И. Александр Иванович, & Шевяков В. И. Василий Иванович. (2009). Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, Мочалов А. И. Алексей Иванович, Сулимин А. И. Александр Иванович, and Шевяков В. И. Василий Иванович. Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009, 2009.

MLA (9th ed.) Citation

Громов Д. Г. Дмитрий Геннадьевич, et al. Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие. Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009, 2009.