Зондовые нанотехнологии в электронике: учебное пособие для вузов

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Samenvatting:Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Монография полезна для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, студентов и аспирантов, бакалавров и магистров, специализирующихся в области нанотехнологии и наноматериалов, микро- и наносистемной техники.
Taal:Russisch
Gepubliceerd in: Москва, Техносфера, 2006
Reeks:Мир электроники
Onderwerpen:
Formaat: Boek
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=154991

Gelijkaardige items