|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
154991 |
| 005 |
20231101221814.0 |
| 010 |
|
|
|a 5948360989
|b (в пер.)
|b 1500 экз.
|
| 021 |
|
|
|a RU
|b 05-55350
|9 05-2707
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\168105
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\92615
|
| 090 |
|
|
|a 154991
|
| 100 |
|
|
|a 20051123d2006 m y0rusy5002 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Зондовые нанотехнологии в электронике
|e учебное пособие для вузов
|f В. К. Неволин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 159 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир электроники
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Монография полезна для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, студентов и аспирантов, бакалавров и магистров, специализирующихся в области нанотехнологии и наноматериалов, микро- и наносистемной техники.
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 606 |
1 |
|
|a Нанотехнология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\51510
|9 70088
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a зондовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a полимерные микропроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотранзисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотрубки
|
| 610 |
1 |
|
|a инверторы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a пиролитический графит
|
| 610 |
1 |
|
|a локальное анодное окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(075.8)
|v 3
|z rus
|
| 675 |
|
|
|a 620.3(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Неволин
|b В. К.
|g Владимир Кириллович
|4 070
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090310
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150619
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Нанотехнологии в электронике
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 32/20090310
|d 2
|e 225,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
