Разработка экспериментального образца установки для контроля качества полупроводниковых пластин: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 1-56/88 - Штанько В. Ф. Виктор Федорович; Олешко В. И. Владимир Иванович (Томск, 1989)