|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
152834 |
| 005 |
20231101221642.0 |
| 029 |
0 |
0 |
|a SU
|b 01880083996
|f ТПУ
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\165702
|
| 090 |
|
|
|a 152834
|
| 100 |
|
|
|a 20090205d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a p 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы контроля качества монокристаллов арсенида галлия и фосфида индия эпитаксиальных слоев.
|a Исследование распределения напряжений в монокристаллах и эпитаксиальных слоях
|e Промежуточный отчет о НИР
|e Тема: х/д 2-51/86
|f Томский политехнический институт (ТПИ) ; руководитель В. А. Ермолаев ; С. В. Руднев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 36 л.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 36
|
| 606 |
1 |
|
|a Монокристаллы
|x (кристаллография)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\80329
|9 88054
|
| 610 |
1 |
|
|a арсенид галлия
|
| 610 |
1 |
|
|a фосфиды
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a программирование
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a качество
|
| 610 |
1 |
|
|a отчеты о НИР
|
| 675 |
|
|
|a 548.55(04)
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Ермолаев
|b В. А.
|4 673
|
| 702 |
|
1 |
|a Руднев
|b С. В.
|4 677
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический институт (ТПИ)
|c (1944-1991)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\1123
|4 595
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090205
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200824
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
