Основы автоматизации техпроцессов: учебное пособие

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Щагин А. В. Анатолий Васильевич, Демкин В. И. Василий Иванович, Кононов В. Ю. Владислав Юрьевич, Кабанова А. Б. Алла Борисовна
סיכום:Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов, обучающихся по специальностям 220201(210100) «Управление и информатика в технических системах» (специалист), 210104(200100) «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (специалист), 210107(200500) «Электронное машиностроение» (специалист), 220301(210200) «Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)» (специалист), 210100(550700) «Электроника и микроэлектроника» (бакалавр), 220200(550200) «Автоматизация и управление» (бакалавр) и может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.
שפה:רוסית
יצא לאור: Москва, Высшее образование, 2009
סדרה:Высшее образование. Основы наук
נושאים:
פורמט: ספר
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=151277
תיאור
תיאור פיזי:164 с. ил.
סיכום:Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов, обучающихся по специальностям 220201(210100) «Управление и информатика в технических системах» (специалист), 210104(200100) «Микроэлектроника и твердотельная электроника» (специалист), 210107(200500) «Электронное машиностроение» (специалист), 220301(210200) «Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)» (специалист), 210100(550700) «Электроника и микроэлектроника» (бакалавр), 220200(550200) «Автоматизация и управление» (бакалавр) и может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.
ISBN:9785969202511