Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ.
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
Москва, Мир, 1990
|
| Fformat: | Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150926 |
MARC
| LEADER | 00000nam1a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 150926 | ||
| 005 | 20231031150330.0 | ||
| 010 | |a 5030013725 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\book\163651 | ||
| 090 | |a 150926 | ||
| 100 | |a 20090116d1990 km y0rusy50 ca | ||
| 101 | 1 | |a rus |c eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Микролитография: принципы, методы, материалы |e в 2 ч: пер. с англ. |f У. Моро | |
| 210 | |a Москва |c Мир |d 1990 | ||
| 700 | 1 | |a Моро |b У. |g Уэйн | |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20090116 |g PSBO | |
| 942 | |c BK | ||