Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ.

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Моро У. Уэйн
Hizkuntza:errusiera
Argitaratua: Москва, Мир, 1990
Formatua: Liburua
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150926