Моро У. Уэйн. (1990). Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990.
Cita Chicago (17th ed.)Моро У. Уэйн. Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990, 1990.
Cita MLA (9th ed.)Моро У. Уэйн. Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990, 1990.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.