Моро У. Уэйн. (1990). Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Моро У. Уэйн. Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990, 1990.
MLA(9版)引用形式Моро У. Уэйн. Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ. Москва, Мир, 1990, 1990.
警告: この引用は必ずしも正確ではありません.