Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: учебное пособие; Ч. 1
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Résumé: | В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектрони-ке, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области. |
| Langue: | russe |
| Publié: |
Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010
|
| Sujets: | |
| Format: | Livre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150741 |