|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
150741 |
| 005 |
20231101221516.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785947749090
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\163435
|
| 090 |
|
|
|a 150741
|
| 100 |
|
|
|a 20090114d2010 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники
|e учебное пособие
|h Ч. 1
|f А. А. Раскин, В. К. Прокофьева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c БИНОМ. Лаборатория знаний
|d 2010
|
| 215 |
|
|
|a 164 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 164.
|
| 330 |
|
|
|a В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектрони-ке, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронное материаловедение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20416
|9 45522
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a оптоэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a германий
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.38.002.3(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Раскин
|b А. А.
|g Александр Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Прокофьева
|b В. К.
|g Виолетта Константиновна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090114
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150619
|g RCR
|
| 900 |
|
|
|a Технология материалов и изделий электронной техники
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210100
|
| 959 |
|
|
|a 4/20090113
|d 2
|e 0
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
| 959 |
|
|
|a 107/20091016
|d 2
|e 0
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
