Наноэлектроника: учебное пособие - Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич (Нанотехнология)
Учебное пособие составлено на основе курса лекций «Наноэлектроника», читаемого студентам специальностей «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы» в Белорусском государственном университете информатики и радиоэлектроники. В нем рассмотрены фундаментальные физические эффекты, имеющие место в наноструктурах и обусловленные их пониженной мерностью. Дана классификация низкоразмерных структур. Описаны подходы, позволяющие формировать такие структуры в полупроводниках, а также современные методы их исследования. Обсуждаются особенности транспорта носителей заряда в наноразмерных структурах. Для студентов вузов, аспирантов и специалистов.