Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
| अन्य लेखक: | , , , |
|---|---|
| सारांश: | Монография посвящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве. Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Монография опубликована за счет средств, выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект №07-08-02003 э_д). |
| भाषा: | रूसी |
| प्रकाशित: |
Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008
|
| विषय: | |
| स्वरूप: | पुस्तक |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150538 |
समान संसाधन
Проблемы литографии в микроэлектронике
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1987)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1987)
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
द्वारा: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
प्रकाशित: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)
द्वारा: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
प्रकाशित: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)
Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
प्रकाशित: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)
प्रकाशित: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)
Физика субмикронной литографии
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1990)
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1990)
Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
द्वारा: Курочка С. П.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2015)
द्वारा: Курочка С. П.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2015)
Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Сергеев В. А.
प्रकाशित: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)
द्वारा: Сергеев В. А.
प्रकाशित: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
द्वारा: Юрчук С. Ю.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2013)
द्वारा: Юрчук С. Ю.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2013)
LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
द्वारा: Родионова Е. А.
प्रकाशित: (2009)
द्वारा: Родионова Е. А.
प्रकाशित: (2009)
Наноструктуры и наноматериалы. Синтез, свойства и применение: пер. с англ. 2-го изд.
द्वारा: Цао Г. Гочжун
प्रकाशित: (Москва, Научный мир, 2012)
द्वारा: Цао Г. Гочжун
प्रकाशित: (Москва, Научный мир, 2012)
Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профтехобразования
द्वारा: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
प्रकाशित: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)
द्वारा: Родионов Ю. А. Юрий Анатольевич
प्रकाशित: (Минск, Дизайн ПРО, 1998)
Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
प्रकाशित: (1990)
प्रकाशित: (1990)
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)
द्वारा: Валиев К. А. Камиль Ахметович
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)
Светочувствительные полимерные материалы
प्रकाशित: (Ленинград, Химия, 1985)
प्रकाशित: (Ленинград, Химия, 1985)
Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)
Справочник по микроскопии для нанотехнологии: пер. с англ.
प्रकाशित: (Москва, Научный мир, 2011)
प्रकाशित: (Москва, Научный мир, 2011)
Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: пер. с англ.
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1984)
Моделирование технологических процессов микроэлектроники
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1992)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1992)
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
द्वारा: Юрчук С. Ю.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2013)
द्वारा: Юрчук С. Ю.
प्रकाशित: (Москва, МИСИС, 2013)
Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
द्वारा: Круглов А. В.
प्रकाशित: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)
द्वारा: Круглов А. В.
प्रकाशित: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)
Модификация поверхности - путь к магнитной памяти; Природа; № 2
प्रकाशित: (2002)
प्रकाशित: (2002)
[Вып. 1]; Нанотехнологии в электронике
प्रकाशित: (2005)
प्रकाशित: (2005)
Микроэлектроника: научный журнал
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1973-)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1973-)
Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
द्वारा: Старостин В. В. Виктор Васильевич
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
Искусство литографии: практическое руководство для художников
द्वारा: Суворов П. И. Петр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Искусство, 1952)
द्वारा: Суворов П. И. Петр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Искусство, 1952)
Искусство литографии: практическое руководство для художников
द्वारा: Суворов П. И. Петр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Искусство, 1964)
द्वारा: Суворов П. И. Петр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Искусство, 1964)
Основы зондовых технологий методическое пособие
द्वारा: Корнилов В. М.
प्रकाशित: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)
द्वारा: Корнилов В. М.
प्रकाशित: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)
Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
द्वारा: Орликов Л. Н.
प्रकाशित: (Москва, ТУСУР, 2018)
द्वारा: Орликов Л. Н.
प्रकाशित: (Москва, ТУСУР, 2018)
Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes; Optics and Laser Technology; Vol. 148
द्वारा: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
प्रकाशित: (2022)
द्वारा: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
प्रकाशित: (2022)
Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: учебное пособие
द्वारा: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
प्रकाशित: (СПб., Лань, 2008)
द्वारा: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
प्रकाशित: (СПб., Лань, 2008)
Основы технологии сверхбольших интегральных схем: пер. с яп.
द्वारा: Таруи Я. Ясуо
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
द्वारा: Таруи Я. Ясуо
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение: пер. с англ.
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
प्रकाशित: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)
Микроструктурирование тонких пленок
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1991)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1991)
Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
द्वारा: Букатин А. С.
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
द्वारा: Букатин А. С.
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)
Рентгеновская оптика: сборник статей
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1989)
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1989)
Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
द्वारा: Попов В. К. Виктор Кузьмич
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
द्वारा: Попов В. К. Виктор Кузьмич
प्रकाशित: (Москва, Радио и связь, 1985)
Vapor Annealing and Colloid Lithography: An Effective Tool To Control Spatial Resolution of Surface Modification; Langmuir; Vol. 34 (11)
प्रकाशित: (2018)
प्रकाशित: (2018)
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность: [учебное пособие]
द्वारा: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)
द्वारा: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)
Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
द्वारा: Иванов А. С.
प्रकाशित: (Пермь, ПНИПУ, 2011)
द्वारा: Иванов А. С.
प्रकाशित: (Пермь, ПНИПУ, 2011)
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие для вузов
द्वारा: Лозовский В. Н.
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)
द्वारा: Лозовский В. Н.
प्रकाशित: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)
Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
द्वारा: Гусев А. И. Александр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Физматлит, 2009)
द्वारा: Гусев А. И. Александр Иванович
प्रकाशित: (Москва, Физматлит, 2009)