Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

Bibliographic Details
Other Authors:	Константинова Г. С. Галина Серафимовна, Лозовский В. Н. Владимир Николаевич, Лунин Л. С. Леонид Сергеевич, Лозовский С. В. Сергей Владимирович
Summary:	Монография посвящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве. Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Монография опубликована за счет средств, выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект №07-08-02003 э_д).
Published:	Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008
Subjects:	литография нанометровый диапазон фотолитография нанолитография электронно-лучевая литография рентгенолитография импринт-литография схемы резисты штампы зондовые методы атомно-лучевая голография нанопроволоки нанотехнологии наноэлектроника
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150538

Similar Items

Проблемы литографии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 1987)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Nanolithography The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Published: (Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014)

Физика субмикронной литографии
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Наука, 1990)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
by: Курочка С. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
by: Сергеев В. А.
Published: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Наноструктуры и наноматериалы. Синтез, свойства и применение пер. с англ. 2-го изд.
by: Цао Г. Гочжун
Published: (Москва, Научный мир, 2012)

LIGA-технология
by: Родионова Е. А.
Published: (2009)

Ч. 2
Published: (1990)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
by: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Published: (Москва, Радио и связь, 1984)

Светочувствительные полимерные материалы
Published: (Ленинград, Химия, 1985)

Материалы и методы нанотехнологии учебное пособие
by: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008)

Справочник по микроскопии для нанотехнологии пер. с англ.
Published: (Москва, Научный мир, 2011)

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов пер. с англ.
Published: (Москва, Радио и связь, 1984)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
by: Юрчук С. Ю.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

[Вып. 1]
Published: (2005)

Сканирующая зондовая литография: Описание лабораторной работы
by: Круглов А. В.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2022)

Модификация поверхности - путь к магнитной памяти
Published: (2002)

Материалы и методы нанотехнологии учебное пособие
by: Старостин В. В. Виктор Васильевич
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Микроэлектроника научный журнал
Published: (Москва, Наука, 1973-)

Основы зондовых технологий методическое пособие
by: Корнилов В. М.
Published: (Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2013)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1964)

Искусство литографии практическое руководство для художников
by: Суворов П. И. Петр Иванович
Published: (Москва, Искусство, 1952)

Нанотехнология в электронике. Введение в специальность учебное пособие
by: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Published: (СПб., Лань, 2008)

Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
by: Орликов Л. Н.
Published: (Москва, ТУСУР, 2018)

Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes
by: Geynts Yu. E. Yury Elmarovich
Published: (2022)

Основы технологии сверхбольших интегральных схем пер. с яп.
by: Таруи Я. Ясуо
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение пер. с англ.
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Постростовые технологии создания функциональных микро- и наноструктур
by: Букатин А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Рентгеновская оптика сборник статей
Published: (Москва, Наука, 1989)

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
by: Попов В. К. Виктор Кузьмич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Vapor Annealing and Colloid Lithography: An Effective Tool To Control Spatial Resolution of Surface Modification
Published: (2018)

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность [учебное пособие]
by: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)

Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
by: Иванов А. С.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2011)

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие для вузов
by: Лозовский В. Н.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И. Александр Иванович
Published: (Москва, Физматлит, 2009)

Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
by: Гусев А. И.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2009)

Теоретическое и экспериментальные исследования течения жидкостей в микрофлюидных устройствах
by: Букатин А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)