|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
150538 |
| 005 |
20231101221506.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785903286201
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\163216
|
| 090 |
|
|
|a 150538
|
| 100 |
|
|
|a 20090112d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
|f Г. С. Константинова [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Ростов-на-Дону
|c Терра-Принт
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 114 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиографический список: с. 110-111.
|
| 330 |
|
|
|a Монография посвящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве. Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Монография опубликована за счет средств, выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект №07-08-02003 э_д).
|
| 606 |
1 |
|
|a Нанолитография
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\67369
|9 83195
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a нанометровый диапазон
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a нанолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевая литография
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгенолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a импринт-литография
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a резисты
|
| 610 |
1 |
|
|a штампы
|
| 610 |
1 |
|
|a зондовые методы
|
| 610 |
1 |
|
|a атомно-лучевая голография
|
| 610 |
1 |
|
|a нанопроволоки
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Константинова
|b Г. С.
|g Галина Серафимовна
|
| 701 |
|
1 |
|a Лозовский
|b В. Н.
|g Владимир Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Лунин
|b Л. С.
|g Леонид Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Лозовский
|b С. В.
|g Сергей Владимирович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090112
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140226
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Нанотехнологии
|
| 900 |
|
|
|a Дифракционные, спектроскопические и зондовые методы и оборудование для диагностики структуры и свойства наноматериалов
|
| 900 |
|
|
|a Дифракционные, спектроскопические и зондовые методы исследования материалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
