Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы

Bibliographic Details
Other Authors: Константинова Г. С. Галина Серафимовна, Лозовский В. Н. Владимир Николаевич, Лунин Л. С. Леонид Сергеевич, Лозовский С. В. Сергей Владимирович
Summary:Монография посвящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве. Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Монография опубликована за счет средств, выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект №07-08-02003 э_д).
Language:Russian
Published: Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008
Subjects:
Нанолитография
литография
нанометровый диапазон
фотолитография
нанолитография
электронно-лучевая литография
рентгенолитография
импринт-литография
схемы
резисты
штампы
зондовые методы
атомно-лучевая голография
нанопроволоки
нанотехнологии
наноэлектроника
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=150538
Description
Physical Description:114 с. ил.
Summary:Монография посвящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве. Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники, а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей. Монография опубликована за счет средств, выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект №07-08-02003 э_д).
ISBN:9785903286201

Similar Items