Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 1.— , 1990.— 5-03-001372-5
Jezik:	ruščina
Izdano:	1990
Teme:	микролитография принципы методы материалы фоторезисты радиационные резисты резистные пленки нанесение термообработка фотолитография радиационное экспонирование
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=149036

Podobne knjige/članki

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Izdano: (1990)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
od: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Izdano: (Киев, Вища школа, 1983)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Izdano: (Москва, Наука, 1987)

Введение в фотолитографию
Izdano: (Москва, Энергия, 1977)

Физика субмикронной литографии
od: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Izdano: (Москва, Наука, 1990)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
od: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1982)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
od: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1984)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Izdano: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Основы фотолитографии: учебное пособие
od: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Izdano: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Светочувствительные полимерные материалы
Izdano: (Ленинград, Химия, 1985)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
od: Терехов А. И.
Izdano: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9
od: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Izdano: (2017)

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Izdano: (2016)

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
od: Одиноков С. Б.
Izdano: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 511 : Perspective Materials of Constructional and Medical Purpose
Izdano: (2019)

Методы повышения параметров БИС
od: Деркач В. П. Виталий Павлович
Izdano: (Киев, Вища школа, 1986)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
od: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1983)

Технология производства полупроводниковых приборов
od: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Izdano: (Ленинград, Энергия, 1968)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Izdano: (Томск, 1981)

Некоторые проблемы физики радиационных повреждений материалов
Izdano: (Киев, Наукова думка, 1979)

Технология микросборок
od: Пиганов М. Н.
Izdano: (Самара, Самарский университет, 2020)

Радиационные дефекты в металлах: материалы 1V Всесоюзного совещания, Алма-Ата, 4-6 июня 1986 г.
Izdano: (Алма-Ата, Наука, 1988)

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Izdano: (Ленинград, Наука, 1984)

Радиационный контроль на продовольственных рынках учебное пособие для обучающихся по направлению подготовки 36.03.01 ветеринарно-санитарная экспертиза, уровень высшего образования бакалавриат, форма обучения очная
od: Гертман А. М.
Izdano: (Челябинск, ЮУрГАУ, 2020)

Технология микроэлектронных устройств: справочник
od: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Izdano: (Москва, Радио и связь, 1991)

Проблемы электронного материаловедения
Izdano: (Новосибирск, Наука, 1986)

Сравнительная оценка результатов измерений радиационных параметров грунтов и почв с участков радиационного загрязнения; АНРИ; Аппаратура и новости радиационных измерений; № 1
Izdano: (2005)

Вклад ученых академии наук Беларуси в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльский АЭС. 1986–1996 гг.: документы и материалы
od: Токарев Н. В.
Izdano: (Минск, Белорусская наука, 2016)

Производство полупроводниковых приборов
od: Федоров Л. П. Лель Павлович
Izdano: (Москва, Энергия, 1979)

Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
od: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Izdano: (Москва, Высшая школа, 1980)

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие
Izdano: (Москва, [Б. и.], 1977)

Вопросы атомной науки и техники. Серия : Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение: научно-технический сборник
Izdano: (Харьков, 1975-1988, 1990-1992)

Методы определения терморадиационных свойств полимерных покрытий
od: Слободкин Л. С. Лев Соломонович
Izdano: (Минск, Наука и техника, 1977)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Izdano: (2007)

Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении: учебник
od: Медведев А. М. Аркадий Максимович
Izdano: (Москва, Кнорус, 2022)

Современное состояние и перспективы развития криогенно-радиационных способов упрочнения породоразрушающего инструмента; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
od: Мамонтов А. П. Аркадий Павлович
Izdano: (2002)

Облученные нержавеющие стали: монография
od: Вотинов С. Н. Сергей Николаевич
Izdano: (Москва, Наука, 1987)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
od: Королев М. А. Михаил Александрович
Izdano: (2009)

Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ.
od: Моро У. Уэйн
Izdano: (Москва, Мир, 1990)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Izdano: (2011)