Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы

Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 1.— , 1990.— 5-03-001372-5
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	1990
Konular:	микролитография принципы методы материалы фоторезисты радиационные резисты резистные пленки нанесение термообработка фотолитография радиационное экспонирование
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=149036

Benzer Materyaller

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Baskı/Yayın Bilgisi: (1990)

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
Yazar:: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Киев, Вища школа, 1983)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1987)

Введение в фотолитографию
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Энергия, 1977)

Физика субмикронной литографии
Yazar:: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1990)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Yazar:: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1984)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
Yazar:: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1982)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Основы фотолитографии: учебное пособие
Yazar:: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Светочувствительные полимерные материалы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Химия, 1985)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
Yazar:: Терехов А. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов учебное пособие
Yazar:: Одиноков С. Б.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014)

Deposition and Patterning of Polycrystalline Diamond Films Using Traditional Photolithography and Reactive Ion Etching; Coatings; Vol. 7, iss. 9
Yazar:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Selective deposition of polycrystalline diamond films using photolithography with addition of nanodiamonds as nucleation centers; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 116 : Advanced Materials and New Technologies in Modern Materials Science
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 511 : Perspective Materials of Constructional and Medical Purpose
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Методы повышения параметров БИС
Yazar:: Деркач В. П. Виталий Павлович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Киев, Вища школа, 1986)

Технология и конструирование интегральных микросхем: учебное пособие
Yazar:: Березин А. С. Андрей Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Радио и связь, 1983)

Технология производства полупроводниковых приборов
Yazar:: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Энергия, 1968)

Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники: заключительный отчет о НИР; тема: х/д 5-23/80
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 1981)

Некоторые проблемы физики радиационных повреждений материалов
Baskı/Yayın Bilgisi: (Киев, Наукова думка, 1979)

Технология микросборок
Yazar:: Пиганов М. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Самара, Самарский университет, 2020)

Радиационные дефекты в металлах: материалы 1V Всесоюзного совещания, Алма-Ата, 4-6 июня 1986 г.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Алма-Ата, Наука, 1988)

Проблемы электронного материаловедения
Baskı/Yayın Bilgisi: (Новосибирск, Наука, 1986)

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Наука, 1984)

Радиационный контроль на продовольственных рынках учебное пособие для обучающихся по направлению подготовки 36.03.01 ветеринарно-санитарная экспертиза, уровень высшего образования бакалавриат, форма обучения очная
Yazar:: Гертман А. М.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Челябинск, ЮУрГАУ, 2020)

Сравнительная оценка результатов измерений радиационных параметров грунтов и почв с участков радиационного загрязнения; АНРИ; Аппаратура и новости радиационных измерений; № 1
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)

Вклад ученых академии наук Беларуси в ликвидацию последствий аварии на Чернобыльский АЭС. 1986–1996 гг.: документы и материалы
Yazar:: Токарев Н. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Минск, Белорусская наука, 2016)

Производство полупроводниковых приборов
Yazar:: Федоров Л. П. Лель Павлович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Энергия, 1979)

Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
Yazar:: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Высшая школа, 1980)

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС: учебное пособие
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, [Б. и.], 1977)

Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ.
Yazar:: Моро У. Уэйн
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Мир, 1990)

Методы определения терморадиационных свойств полимерных покрытий
Yazar:: Слободкин Л. С. Лев Соломонович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Минск, Наука и техника, 1977)

Вопросы атомной науки и техники. Серия : Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение: научно-технический сборник
Baskı/Yayın Bilgisi: (Харьков, 1975-1988, 1990-1992)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Baskı/Yayın Bilgisi: (2007)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Yazar:: Королев М. А. Михаил Александрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Облученные нержавеющие стали: монография
Yazar:: Вотинов С. Н. Сергей Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1987)

Микро- и нанотехнологии: материаловедение в электронном приборостроении: учебник
Yazar:: Медведев А. М. Аркадий Максимович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Кнорус, 2022)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

Введение в радиационную физикохимию поверхности щелочно-галоидных кристаллов
Baskı/Yayın Bilgisi: (Рига, Зинатне, 1989)

Т. 3; Реакторное материаловедение
Baskı/Yayın Bilgisi: (1978)