Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы

Bibliographic Details
Parent link:	Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 1.— , 1990.— 5-03-001372-5
Language:	Russian
Published:	1990
Subjects:	микролитография принципы методы материалы фоторезисты радиационные резисты резистные пленки нанесение термообработка фотолитография радиационное экспонирование
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=149036

MARC


LEADER	00000nam2a2200000 4500
001	149036
005	20231031145713.0
010			\|a 503001716X
020			\|a RU \|b 90-61664
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\161575
090			\|a 149036
100			\|a 20081211g1990 km y0rusy5003 ca
101	1		\|a rus \|c eng
200	0		\|a Ч. 1
210			\|d 1990
215			\|a 607 с.
320			\|a Библиография в конце глав.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\book\163651 \|y 5-03-001372-5 \|t Микролитография: принципы, методы, материалы \|o в 2 ч: пер. с англ. \|f У. Моро \|v Ч. 1 \|d 1990
610	1		\|a микролитография
610	1		\|a принципы
610	1		\|a методы
610	1		\|a материалы
610	1		\|a фоторезисты
610	1		\|a радиационные резисты
610	1		\|a резистные пленки
610	1		\|a нанесение
610	1		\|a термообработка
610	1		\|a фотолитография
610	1		\|a радиационное экспонирование
675			\|a 621.382.049.75 \|v 3
801		0	\|a RU \|b RuMRKP \|c 19950417 \|g psbo
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20081211 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20100412 \|g PSBO
942			\|c BK